Üretim alanında, termal sapmalar uyarı ışığıyla gösterilmez. Bunun yerine, ürün veriminin düşmesi ve CD kontrolünün bozulması şeklinde kendini gösterir. Mattson RTP lambaları, kurutma ve fotoresist işlemlerinin istenen sıcaklık aralığında gerçekleşmesini sağlamak için tasarlanmıştır.
Önemli olan noktalar
Kuvars kaplamalı, kısa dalga boylu infrarağın kullandığımız bu lambalar, hızlı ve tekrarlanabilir bir şekilde çalışır. Bu sayede işlem sırasında waferin sıcaklığı ±0,1°C civarında sabit kalır. Ayrıca, her seferinde aynı sonuçları veren yumuşak/sert pişirme profilleri de mevcuttur. Bu lambalar binlerce saat boyunca sabit çıkış gücü sağlar; 5.000 saatten fazla çalışan lambalarda bile çıkış gücünde %5’ten az bir düşüş olur. Ayrıca, döngüler sırasında parça üretmezler; bu sayede temiz odadaki parçacık sayısı Class 1–100 aralığında kalır.
Litoğrafi işlemlerindeki avantajları
Litoğrafi hatlarında, çözücüyü etkili bir şekilde uzaklaştıran yumuşak pişirme işlemine ve fotoresisti doğru şekilde sabitleyen, CD kaymalarını önleyen sert pişirme işlemine ihtiyaç vardır. Bu lambalar bu tekrarlanabilirliği sağlar ve aynı zamanda kalan nemin hızlı ve eşit bir şekilde uzaklaştırılmasına da yardımcı olur. Böylece daha az atık üretilir, daha az yeniden işleme gerekir ve verimli ışın iletimi sayesinde her parti başına daha az enerji harcanır.
Montaj detayları
Montaj oldukça basittir; ancak lambaların yerleştirilmesi sırasında lambaların yönü ve yansıtıcıların hizalanması kontrol edilmelidir. Hatalı hizalama, lokal ısınmalara ve sapmalara neden olabilir. Taban konektörünün, voltajın ve soğutma sisteminin odanızın özelliklerine uygun olduğundan emin olun. Ayrıca, optik kontroller için düzenli zamanlamalar yapılmalıdır. Lambaların ömrünün erken tespiti, işlem kontrolünün sorunsuz olmasını sağlar.