Üretim alanında bu LED lamba, sadece hedef noktaları aydınlatmakla kalmaz; aynı zamanda her bir pozlama işlemi için gerekli olan termal parametreleri de belirler. Eğer lambanın verimi değişirse, fırınlama işlemleri de buna göre değişir. Böylece yumuşak ve sert fırınlama işlemlerinin tutarlılığı bozulur ve CD kontrolü de etkilenir. Bunlarla ilgili bilgiler haber başlıklarında yer almaz; bunları doğrudan üretim sürecinde görebilirsiniz.
Teknik açıdan önemli olanlar Nikon’un bu LED lambaları, halojen teknolojisi üzerine kurulmuştur ve spektral kontrolü oldukça iyidir. Böylece wafer üzerindeki enerji yoğunluğu sürekli olarak sabit kalır. Sıcak plaka arayüzünde termal tutarlılık ±0,1°C civarında tutulur; bu da fotoğraf direncinin duyarlılığını korumak ve filmde dalga etkilerinin ortaya çıkmasını engellemek için yeterlidir. Bu lambalar, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır ve çalışmaya başladığında veya sabit durumdayken herhangi bir parçacık yaymaz. 5.000 saatten fazla süre boyunca verimlilik sabit kalır ve düşüş oranı %5’in altındadır. Böylece işlem süreci stabil kalır ve yeniden işleme ihtiyacı ortadan kalkar.
Litografi işlemlerinde neden işe yarar? Litografi işlemlerinde termal kontrol son derece önemlidir. Bu lamba, yumuşak ve sert fırınlama sıcaklıklarını belirlenen standartlarda tutar. Bu sayede daha düzgün bir CD dağılımı elde edilir, odaklanma sorunları azalır ve fotoğraf direnciyle ilgili sorunlar ortadan kalkar. Lamba 24/7 çalıştırılabilir ve plansız duruşlar olmaz. Ayrıca enerji verimliliği sayesinde işletim maliyetleri düşer. Sonuç olarak cihazın performansı stabil kalır ve üretim verimi öngörülebilir hale gelir.
Yapmanız gerekenler Uyum sağlamak şarttır. Lambanın, Nikon’un belirlediği modeline uygun reflektör geometrisi ve güç kaynağı kalibrasyonuyla eşleştirilmesi gerekir. Kalifikasyon işlemleri yapılmadan parçalar değiştirilirse, tutarsız pozlama ve fırınlama işlemleri meydana gelir. Kurulum için kısa bir zaman ayırın ve ardından tüm termal profilleri kontrol edin. Bunu kontrollü bir değişiklik olarak ele alın. Bundan sonra rahatça çalışmaya devam edebilirsiniz.