ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความแปรปรวนของอุณหภูมินั้นจะไม่ปรากฏเป็นสัญญาณเตือนใดๆ แต่จะแสดงออกมาในรูปของการลดประสิทธิภาพการผลิต และควบคุมค่า CD ที่ไม่แม่นยำ หลอดไฟ Mattson RTP ถูกออกแบบมาเพื่อรักษาอุณหภูมิในขั้นตอนการอบให้อยู่ในช่วงที่กำหนดไว้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่มีเปลือกหุ้มด้วยควอตซ์ ซึ่งช่วยให้เกิดอุณหภูมิที่สม่ำเสมอบนแผ่นวีเซอร์ได้ในช่วง ±0.1°C ตลอดกระบวนการผลิต นอกจากนี้ หลอดไฟเหล่านี้ยังช่วยให้เกิดกระบวนการอบที่สม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่ใช้งาน หลอดไฟเหล่านี้สามารถรักษากำลังไฟให้คงที่ได้เป็นเวลาหลายพันชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5% เท่านั้น และเนื่องจากหลอดไฟเหล่านี้ไม่ปล่อยอนุภาคออกมาขณะใช้งาน จึงทำให้ปริมาณอนุภาคในห้องที่มีความสะอาดสูงอยู่ในระดับ Class 1–100
เหตุใดสิ่งนี้จึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี ในกระบวนการลิโทกราฟี จำเป็นต้องมีกระบวนการอบที่ช่วยขจัดสารละลายออกอย่างมีประสิทธิภาพ และมีกระบวนการอบที่ช่วยให้ฟอโตรีซิสต์แข็งตัวได้อย่างสม่ำเสมอ โดยไม่ทำให้ค่า CD เปลี่ยนแปลงไปมากเกินไป หลอดไฟ Mattson RTP ช่วยให้เกิดความสม่ำเสมอในการอบได้ และยังช่วยให้แผ่นวีเซอร์แห้งได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมออีกด้วย สิ่งนี้ช่วยลดปริมาณชิ้นงานที่เสียหาย ลดความจำเป็นในการแก้ไขชิ้นงาน และช่วยลดการใช้พลังงานต่อแต่ละชุดการผลิตได้
รายละเอียดที่สำคัญเมื่อติดตั้ง การติดตั้งนั้นทำได้ง่าย แต่จำเป็นต้องตรวจสอบทิศทางการติดตั้งหลอดไฟและการจัดวางกระจกสะท้อนด้วย เพราะหากมีการจัดวางที่ผิด อาจทำให้เกิดจุดร้อนที่ไม่สม่ำเสมอได้ ควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าตัวเชื่อมต่อ แรงดันไฟฟ้า และระบบระบายความร้อนเหมาะสมกับเครื่องจักรของคุณ และควรมีการตรวจสอบทางออปติกอย่างสม่ำเสมอ การตรวจสอบตั้งแต่เนิ่นๆ จะช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ