บนพื้นผิวของแผ่นวัสดุ มีแผ่นเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 12 นิ้วอยู่ ซึ่งกำลังรอการประมวลผลด้วยความร้อน คุณคงทราบดีว่าความแม่นยำมีความสำคัญมาก เพราะแม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ก็อาจส่งผลต่อความแม่นยำในการผลิตได้ สิ่งที่จำเป็นคือความร้อนที่สามารถถูกส่งไปยังพื้นผิวได้อย่างรวดเร็ว และไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองใดๆ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นของเราช่วยส่งความร้อนไปยังพื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์โดยตรง โดยไม่ต้องรอให้เกิดการถ่ายเทความร้อนผ่านอากาศ ความเข้มของแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นนั้นถูกปรับให้เหมาะสมกับการดูดซับความร้อนของฟิล์มอินทรีย์และซิลิคอน ดังนั้นจึงสามารถปรับอุณหภูมิได้ภายในเวลาไม่เกิน 30 วินาที ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวแผ่นเซมิคอนดักเตอร์อยู่ในช่วง ±0.1°C และความสามารถในการทำซ้ำก็อยู่ในช่วง ±0.2°C ต่อการผลิตหนึ่งครั้ง
ห้องปลอดภัยระดับ 1–100 ก็ยังคงอยู่ในสภาพสมบูรณ์ โครงสร้างของหลอดไฟและอุปกรณ์สะท้อนแสงถูกออกแบบมาเพื่อป้องกันไม่ให้มีฝุ่นละอองเข้ามาในกระบวนการผลิต และความเสถียรของแสงก็ยังคงอยู่ได้เป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของแสงน้อยกว่า 5%
เหตุใดจึงใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี การใช้ความร้อนในระดับต่ำจะช่วยกำหนดโครงสร้างของสารละลาย ส่วนการใช้ความร้อนในระดับสูงจะช่วยยึดรูปร่างของภาพไว้ ด้วยหลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น จะช่วยกำจัดสารละลายได้อย่างสะอาด โดยไม่ทำให้ฟิล์มเสียหาย ซึ่งช่วยลดปัญหาคลื่นสะท้อนและสิ่งสกปรกต่างๆ นอกจากนี้ การตอบสนองของหลอดไฟยังรวดเร็ว ดังนั้นเวลาที่ไม่ได้ใช้งานก็จะน้อยลง และเวลาในการผลิตก็จะลดลง โดยยังคงรักษาความแม่นยำในการผลิตไว้ได้
การให้ความร้อนนั้นจะเกิดขึ้นเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น ดังนั้นการใช้พลังงานก็จะลดลง ผลลัพธ์ก็คือมีการผลิตซ้ำน้อยลง ความแม่นยำในการผลิตก็จะสูงขึ้น และยังสามารถวางแผนการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่ควรระวัง
การติดตั้งหลอดไฟนั้นต้องคำนึงถึงการจัดวางแสงและระยะห่างระหว่างอุปกรณ์ต่างๆ หากทำผิดพลาด ก็อาจเกิดจุดร้อนขึ้นได้ ด้วยความเข้มของแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่สูง จึงจำเป็นต้องมีอุปกรณ์ป้องกันเพื่อความปลอดภัยของผู้ปฏิบัติงาน
หลอดไฟเหล่านี้สามารถติดตั้งได้กับอุปกรณ์半導体มาตรฐาน แต่การติดตั้งก็ต้องคำนึงถึงการระบายอากาศ การระบายความร้อน และความเสถียรของแรงดันไฟฟ้าด้วย หากทำได้ดี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้