การเปลี่ยนหลอดไฟ Mattson RTP
ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความแปรปรวนของอุณหภูมินั้นจะไม่ปรากฏเป็นสัญญาณเตือนใดๆ แต่จะแสดงออกมาในรูปของการลดประสิทธิภาพการผลิต และควบคุมค่า CD...
หลอดไฟฮาโลเจนสำหรับระบบ RTP
ในสภาพการทำงานจริงแล้ว ปัญหาเรื่องการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิไม่ใช่เรื่องที่น่าสนใจในห้องปฏิบัติการเท่านั้น แต่เป็นปัญหาที่สำคัญมากในการผลิตจริง เมื่อใช้...