На производственном участке термические отклонения не проявляются в виде сигналов тревоги. Они проявляются в виде снижения качества продукции и нарушения контроля над параметрами пленки фоторезиста. Лампы Mattson RTP разработаны таким образом, чтобы обеспечивать стабильные условия для процессов сушки и обработки пленки фоторезиста в пределах допустимых температурных значений.
Что имеет значение на самом деле Мы используем галогеновые лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, установленные в кварцевых корпусах. Эти лампы обеспечивают быстрое нагревание и стабильные условия в течение всего процесса. Благодаря этому температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C. Кроме того, эти лампы обеспечивающ стабильную мощность выходного излучения в течение тысяч часов работы – у нас есть лампы, которые работают более 5 000 часов с потерей мощности менее 5%. Поскольку при работе этих ламп не образуются частицы, уровень частиц в чистой комнате остается на уровне 1–100.
Значение этого для литографии На линиях литографии необходимы процессы мягкого нагрева, которые эффективно удаляют растворители, и процессы жесткого нагрева, которые заставляют пленку фоторезиста приобрести нужные свойства без избыточного нагрева. Эти лампы обеспечивают такую стабильность, а также способствуют быстрой и равномерной сушке пластины. В результате снижается количество бракованных изделий, уменьшается количество переработок, а также снижается энергозатраты за одну партию продукции благодаря эффективному передаче излучения и быстрому достижению стабильных условий.
Детали, на которые нужно обращать внимание при установке Установка ламп проста, но необходимо точно настроить их положение и ориентацию. Неправильная настройка может привести к появлению локальных зон повышенной температуры. Убедитесь, что разъемы, напряжение и система охлаждения соответствуют характеристикам вашей камеры. Также необходимо регулярно проводить проверки оптических параметров. Раннее выявление признаков износа ламп помогает избежать проблем с контролем процесса.