На производственном участке нельзя терять время после процедуры промывки. Любая оставшаяся вода способствует появлению частиц и снижению эффективности использования фотополимера. Это уже ведет к снижению производительности еще до начала процесса литографии. Процессы сушки занимают много времени, снижают скорость работы оборудования и добавляют дополнительные неопределенности, которые совсем не нужны. Мы создали лампу для быстрой сушки пластин, чтобы сократить время сушки и сохранить поверхность пластины нетронутой.
Что важно при работе оборудования
Мы используем инфракрасное излучение короткой и средней длины волн, настроенное таким образом, чтобы энергия воздействовала на поверхность пластины быстро и без контакта. В активной зоне температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C, что защищает слои материала от негативного воздействия. Повторяемость температуры при каждой процедуре также остается в пределах ±0,5°C, что позволяет сохранять стабильность процессов сушки.
Это оборудование подходит для использования в чистых комнатах классов от 1 до 100. Мы подтвердили, что уровень частиц в воздухе составляет 0,1 микрона и менее. В реальных условиях лампа работает круглосуточно без перерывов, а стабильность выходной мощности сохраняется на уровне 2% в течение более 5000 часов.
Почему это полезно на производстве
Сразу после промывки лампа секундами удаляет воду с поверхности пластины. Таким образом, пластину можно сразу отправлять на устройство для сушки фотополимера, без каких-либо проблем. Это сокращает время обработки и снижает потребление энергии за счет отсутствия лишних этапов сушки.
Поскольку температурный режим начинается с уже сухой поверхности пластины, процессы сушки становятся более эффективными. Это позволяет получать более качественные результаты обработки и улучшает выборочность процесса экстракции. В результате увеличивается количество готовых пластин в час, а количество бракованных изделий снижается.
Реальные условия использования
Лампа требует источника питания 24 В постоянного тока, а также специальной системы вентиляции для охлаждения камеры. Доступны киты для установки на основные устройства для покрытия пластин. Координация положения лампы относительно пластины очень точная – ±0,5 мм. Поэтому необходимо, чтобы инженер провел первоначальную настройку оборудования.
Перед началом работы необходимо провести 30-минутную процедуру настройки, чтобы оценить стабильность температуры на поверхности пластины.