На производственной площадке лежит кристалл диаметром 12 дюймов, который ожидает процедуры нагрева фоторезиста. Важно контролировать температуру поверхности — любое изменение на 1°C может сказаться на точности формирования изображения и качестве продукции. Необходимо, чтобы тепло распространялось мгновенно, не вызывая движения частиц в материале.
Что имеет значение с технической точки зрения
Наши лампы с коротковолновым инфракрасным излучением направляют тепло прямо в фоторезист и подложку, без необходимости ожидания процесса конвекции. Максимальная интенсивность излучения в этом диапазоне позволяет эффективно поглощать тепло органическими слоями и кремнием. Таким образом, достижение заданной температуры происходит менее чем за 30 секунд. Равномерность температуры по всей поверхности кристалла составляет ±0,1°C, а повторяемость результатов — более ±0,2°C.
Условия чистой комнаты класса 1–100 сохраняются. Кварцевая оболочка и геометрия отражателя способствуют предотвращению попадания частиц в процесс. Эффективность работы ламп сохраняется более 5,000 часов, при этом падение эффективности составляет менее 5%.
Почему это работает в литографии
В процессе литографии мягкое нагревание используется для регулировки состава растворителя, а жесткое нагревание — для фиксации изображения. С использованием ламп с коротковолновым инфракрасным излучением происходит эффективное удаление растворителя без повреждения слоев материала. Это снижает возникновение стоячих волн и других проблем. Реакция ламп на нагрев происходит быстро, что сокращает время между циклами обработки, при этом сохраняется точность формирования изображения.
Нагрев происходит по мере необходимости, а не постоянно, что снижает расход энергии. Это позволяет сократить количество необходимых переработок, обеспечивать стабильность качества продукции и позволяет планировать расход энергии.
На что следует обратить внимание
При установке важно правильно настроить оптическую совместимость и расстояния между компонентами. Если это сделать неправильно, могут возникнуть «горячие точки». Интенсивность излучения ламп высока, поэтому необходимы защитные меры для безопасности оператора.
Лампы соответствуют стандартным интерфейсам полупроводникового оборудования, но при их интеграции необходимо учитывать вопросы вентиляции, охлаждения и стабильности напряжения. Если все это соблюдать, то равномерность температуры будет соответствовать требованиям.