Het juist uitvoeren van het drogen van wafers: het geheim zit in de reflectoren
Als je werkt met het drogen van wafers, ken je de uitdagingen. Je hebt precieze thermische gradienteën nodig. Om dit te bereiken, gebruiken we korte- golflengte infraroodlampen in combinatie met zeer specifieke reflectoren.
Het probleem is dat in modernefabrieken iedereen het heeft over ‘data-gebaseerd verwarmen’. Maar dat is een utopie als de energie in alle richtingen wordt verspreid, net zoals bij een kapotte sprinklerinstallatie.
Stop met energieverspilling
Denk aan een reflector als een manier om het lichtbundelveld te vormen. Zonder reflector verdwijnt een groot deel van de IR-straling gewoon in het frame van de machine. Dat is pure energieverspilling.
Door de straling rechtstreeks op de wafer te richten, krijg je veel meer warmtedichtheid op de plekken waar het echt nodig is. Het beste van alles? Je kunt de vermogens van de lampen verminderen en toch dezelfde droogtietempo’s behalen. Het is gewoon efficiënter.
Natuurlijk moet de coating perfect zijn. We gebruiken meestal goud- of aluminiumcoatings, omdat deze het best werken met korte- golflengte IR-straling. Houd echter goed in de gaten of de coating niet begint te loslaten of te oxideren. Dan is de thermische uniformiteit verloren.
Meer ruimte voor de sensoren
Iedereen wil een kleinere oppervlakte en betere gegevens. Als de reflectoren goed werken, heb je minder lampen nodig om het werk te doen.
Dit geeft de sensoren en de PLC-kabels meer ruimte. Bovendien hoeven de koelsystemen niet zo hard te werken om de temperatuur stabiel te houden.
Maar wees voorzichtig: meer stralingsdichtheid betekent ook een hoger risico op hete punten. Je moet ervoor zorgen dat je PID-regelaars goed zijn ingesteld op snelle temperatuurschommelingen. Als de geometrie van de reflector te agressief is, kan de wafer beschadigen voordat de sensoren zelfs maar doorhebben dat er een probleem is.
De productielijn in beweging houden
We hebben deze reflectoren ontworpen als eenvoudige vervangingen. Uiteindelijk raakt elke reflector zijn glans kwijt – meestal door uitgasen of algemene vervuiling. Als dat gebeurt, hoef je hem alleen maar te vervangen. Er is geen reden om een hele dag nodig te hebben om het hele verwarmingssysteem opnieuw te kalibreren.
Zorg er alleen voor dat de correctie nauwkeurig is. Dat is de enige manier om ervoor te zorgen dat wat je ziet in je digitale model overeenkomt met wat er daadwerkelijk gebeurt.