Wanneer een IR-lamp kapotgaat, loopt alles mis
In de wereld van halfgeleiderfabrieken is het kapotgaan van een IR-lamp geen simpele ‘technische storing’ of korte stilstand. Het is een nachtmerrie.
Stel je voor dat de kwartsomhulsing precies op het moment van maximale belasting kapotgaat. Glasdeeltjes en halogeengas vallen rechtstreeks op de wafer. In één klap is je hele lading beschadigd. Het is een chaos en het kost veel geld.
Wij ontwerpen onze sensoren en lampen zodat deze soort problemen nooit kunnen optreden.
Waarom deze lampen eigenlijk kapotgaan
Meestal komt het door thermische schokken of lokale oververhittingen. Wanneer wafer op hoge temperaturen worden verhit, wordt de warmte niet altijd evenredig verdeeld. Het kwarts wordt op verschillende manieren uitgerekt, waardoor er kleine scheurtjes ontstaan. De interne druk zorgt vervolgens voor het einde van de lamp. Plop.
Om dit tegen te gaan, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit. Dit materiaal kan de hitte beter verdragen en reageert niet negatief op plotselinge temperatuurschommelingen.
Het voorkomen van schade
We hopen niet alleen dat de lamp het uithoudt, maar we maken ook plannen voor het geval dat dat niet lukt.
We omhullen de IR-emitters met een laag van hoogtemperatuurbestendig, chemisch inert materiaal. Denk erbij aan een soort veiligheidsnet. Als de lamp kapotgaat, vangt deze laag de schade op. Hierdoor blijven de wafer schoon en hoef je de hele productielijn niet te reinigen.
Er is ook nog het probleem van de bedrading. We hebben te vaak meegemaakt dat lampen kapotgingen door losse contactpunten. Deze losse verbindingen zorgen voor elektrische bogen die de isolatie vernietigen. We gebruiken precisieconnectoren om deze bogen te voorkomen.
De prijs van veiligheid
Er is echter één nadeel: door het gebruik van deze beschermende laag neemt de efficiëntie van de IR-lamp iets af. Het duurt wat langer om de gewenste temperatuur te bereiken.
Maar eerlijk gezegd is dit een prijs die we bereid zijn te betalen om een volledige stilstand van de productielijn te voorkomen.
Wees voorzichtig met de instellingen van de lampen. Het is verleidelijk om de lampen op 110% te zetten om het gemiste rendement goed te maken, maar doe dit niet. Hierdoor wordt de levensduur van de lamp verkort en kan de lamp opnieuw kapotgaan.
Je beste optie is om de controllers zo in te stellen dat ze de stroomverbruik in real-time monitoren. Op deze manier kun je op tijd zien wanneer een lamp kapotgaat en hem vervangen voordat het tot een ramp leidt.