Op de productiestage kun je het je niet veroorloven om na het spoelen te wachten. Elke resterende hoeveelheid water zorgt voor het ontstaan van deeltjes en kan leiden tot een verminderde werking van de fotorezuinstof. Hierdoor loop je al risico op verlies aan productie, nog voordat de lithografie zelf begint. De tijd die nodig is om de plaat te drogen, verlengt de productietijd en zorgt bovendien voor meer variabiliteit dan nodig is. We hebben een lamp ontwikkeld die de plaat snel kan drogen, zodat het oppervlak intact blijft.
Wat er echt toe doet
We maken gebruik van kortegolf- en middengolf-infraroodlicht, dat is afgestemd op de absorptie van water. Hierdoor wordt de energie snel en contactloos overgedragen. In de actieve zone blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, waardoor de laagjes op het oppervlak beschermd blijven. De temperatuurvariatie tussen verschillende producties blijft binnen ±0,5°C, zodat de parameters voor het drogen consistent blijven.
De lamp past in schoonruimtes van klasse 1 tot klasse 100. We hebben vastgesteld dat er geen deeltjes vrijkomen, zelfs niet bij een grootte van 0,1 micrometer of minder. In de praktijk werkt de lamp 24/7, zonder storingen. De stabiliteit van de uitvoer blijft binnen 2% over 5.000 uur of meer.
Waarom het nuttig is op de productiestage
Direct na het spoelen verwijdert de lamp het oppervlaktewater binnen enkele seconden. Hierdoor kan de plaat direct naar de hete plaat worden gestuurd voor het drogen van de fotorezuinstof, zonder dat er druppels of strepen ontstaan. Dit verkort de productietijd en bespaart energie door onnodige warmtedrempels te vermijden.
Omdat de temperatuur al vanaf een droge en consistentie-basis begint, kunnen de processen voor het drogen beter worden gecontroleerd. Hierdoor krijg je betere controle over de dikte van de lagen en een betere selectiviteit bij het eten van de materie. Het resultaat is meer producten per uur en minder afval veroorzaakt door vocht.
Praktische aspecten
De lamp heeft een stroomvoorziening van 24 VDC die voldoet aan de eisen van schoonruimtes. Er is ook een aparte ventilatie nodig voor koeling van de kamer. Er zijn aanpassingskits beschikbaar voor de meeste productielijnen. De precisie in het aligneren met de plaat is hoog: ±0,5 mm. Laat dit dus door een monteur doen.
Voor gebruik moet je eerst een testproces uitvoeren van 30 minuten, zodat je de temperatuuruniformiteit kunt bepalen voor jouw specifieke plaat.