Di permukaan lantai yang diperbuat daripada batu, wafer tersebut akan keluar dari proses pencucian dan memasuki tahap pengeringan. Jika terdapat titik panas atau perubahan suhu yang tidak dijangka, corak fotorezistan pada wafer boleh rosak. Kami telah mencipta pemanas khas untuk proses pengeringan wafer MEMS ini, agar perkara tersebut tidak berlaku. Dalam bidang ini, tiada ruang untuk membuat pengecualian.
Apa yang penting dalam reka bentuknya
Kami menggunakan pancaran inframerah gelombang pendek dengan penjana haba jenis kuarsa-halogen. Ini membolehkan penghasilan haba yang cepat dan terarah, dengan kelewatan haba yang minimum. Kestabilan suhu pada seluruh permukaan wafer dapat dikekalkan pada tahap ±0.1°C, manakala ketepatan tetapan suhu pula berada dalam lingkungan ±0.5°C. Dengan cara ini, setiap proses pengeringan dapat dilakukan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan. Reka bentuk alat ini juga memastikan kebersihan bilik, kerana bahan-bahan yang digunakan pada badan pemanas sudah diproses sedemikian rupa agar tidak menimbulkan zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer. Alat ini mampu mengekalkan suhu yang stabil sepanjang masa. Data yang diperoleh menunjukkan bahawa alat ini boleh beroperasi selama 5,000 jam tanpa memerlukan penyelenggaraan rutin, dan tiada masa henti yang tidak dijangka akibat masalah pada pemanas.
Mengapa ia penting dalam MEMS
Dalam MEMS, proses pengeringan bukan sekadar untuk menghilangkan air dari permukaan wafer. Ia juga bertujuan untuk melindungi integriti struktur wafer sebelum dan selepas proses pengembangan fotorezistan. Pemanas ini mampu mengeringkan wafer dengan cepat tanpa menyebabkan perubahan suhu yang drastik, sekaligus memastikan corak fotorezistan tetap utuh dan mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembaikan. Kawalan suhu yang tepat juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga, kerana haba yang dihasilkan lebih efisien.
Apa yang perlu dipertimbangkan semasa pemasangan
Anda perlu memastikan spesifikasi mekanikal dan sistem penyejukan alat ini sesuai dengan keperluan anda. Kami menyediakan gambaran dimensi dan spesifikasi antaramuka, tetapi anda perlu memastikan kadar aliran cecair penyejuk serta suhu masukan adalah betul. Jika tidak, alat ini akan berisiko untuk terlalu panas. Pemanas ini akan berfungsi dengan baik apabila tekanan dalam bilik dan komposisi gas berada dalam had yang ditetapkan. Semasa proses integrasi, lakukan ujian penyesuaian suhu untuk memastikan kestabilan suhu dan memastikan profil pengeringan sesuai dengan wafer yang digunakan.