완벽한 웨이퍼 경화를 위해서는 반사기가 핵심입니다.
웨이퍼 경화 작업을 하신다면 그 어려움을 잘 알고 계실 것입니다. 적절한 열 분포를 유지해야 하죠. 이를 위해 단파 적외선 램프와 특수한 반사기를 함께 사용합니다.
현대적인 반도체 공장에서는 데이터 기반의 열 제어가 중요하다고 말하지만, 에너지가 사방으로 흩어진다면 그건 그저 환상에 불과합니다.
에너지 낭비를 줄이세요
반사기는 빛의 방향을 조절하는 수단입니다. 반사기가 없으면 적외선 에너지의 상당 부분이 기계의 체크에 소모됩니다. 이는 단순한 에너지 낭비일 뿐입니다. 반사기를 통해 에너지를 웨이퍼에 집중시키면, 실제로 중요한 부분에 더 높은 열 밀도를 얻을 수 있습니다. 게다가 램프의 와트수를 줄여도 여전히 원하는 경화 속도를 유지할 수 있습니다. 훨씬 효율적이죠.
물론, 코팅도 완벽해야 합니다. 일반적으로 금이나 알루미늄 코팅을 사용하는데, 이들은 단파 적외선을 가장 잘 처리하기 때문입니다. 하지만 코팅이 벗겨지거나 산화되지 않도록 주의해야 합니다. 그렇지 않으면 열 분포가 깨집니다.
공간 확보
모두가 더 작은 공간과 더 나은 성능을 원합니다. 반사기가 제대로 작동한다면, 같은 작업을 수행하기 위해 더 많은 램프가 필요하지 않습니다. 그렇게 되면 센서와 PLC 회로에 더 많은 공간이 생깁니다. 게다가 전체 챔버가 과열되지 않으므로, 냉각 시스템도 더 효과적으로 작동할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 더 높은 에너지 밀도는 과열 위험을 증가시킨다는 것입니다. PID 컨트롤러가 빠른 온도 변화에 대응할 수 있도록 설정해야 합니다. 반사기의 형태가 너무 과도하다면, 센서가 문제를 인지하기 전에 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
작업 효율성 유지
우리는 이러한 반사기들을 간단하게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 결국 모든 반사기는 시간이 지나면서 그 효과가 떨어집니다. 이때는 그냥 교체해주면 됩니다. 전체 가열 시스템을 다시 조정할 필요는 없습니다. 단지 정확한 위치에 설치하는 것이 중요합니다. 그래야만 디지털 트윈에서 확인되는 정보가 실제로 현장에서 일어나는 상황과 일치합니다.