실제로 중요한 곳에 더 많은 열을 공급하는 방법
반도체 제조 공장에서는 에너지 낭비가 곧 설계상의 결함으로 간주됩니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 단순히 “많은 열”만이 필요한 것이 아닙니다. 웨이퍼 표면에 도달하는 모든 광자가 필요합니다. 그래서 우리는 탄소섬유로 만들어진 적외선 램프와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용합니다. 이 방법을 통해 에너지가 공기 중으로 빠져나가는 것을 막을 수 있습니다.
금의 특징은 무엇일까요? 대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수합니다. 반면 금은 적외선을 반사하는 데 매우 효율적입니다. 램프의 외부를 금으로 덮음으로써, 원래 잘못된 방향으로 가야 할 복사 에너지를 다시 목표 지점 쪽으로 보낼 수 있습니다.
마치 ‘치트 코드’와 같은 것입니다. 전력 공급 장치에서 추가적인 전류를 끌어오지 않고도 열량을 두 배로 늘릴 수 있습니다.
또한 탄소섬유도 중요한 역할을 합니다. 빠른 온도 변화에도 견딜 수 있는 재료이기 때문입니다. 기존의 텅스텐 코일보다 훨씬 빠르게 온도가 상승합니다. 이러한 속도 덕분에 웨이퍼가 변형되는 것을 방지할 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 높일 경우, 냉각 시스템도 그에 맞게 작동해야 합니다. 만약 열교환기가 주변 온도 상승에 대응할 수 없다면, 온도 조절이 제대로 이루어지지 않을 수 있습니다.
이러한 부품들을 설치하는 것은 꽤 간단합니다. 우리는 이 부품들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했기 때문에, 좁은 공간에서도 문제없이 설치할 수 있습니다.
설치할 때 몇 가지 팁을 드리겠습니다.
첫째, 컨트롤러가 탄소섬유의 특성에 맞춰 작동하는지 반드시 확인해야 합니다.
둘째, 금으로 된 반사체의 위치를 정확하게 맞춰야 합니다. 반사체의 위치가 조금이라도 틀어지면, 웨이퍼 위에 과열된 부분이 생기고 균일한 열 분포가 이루어지지 않습니다. 초점 거리도 반드시 확인해야 합니다. 이 점이 매우 중요합니다.