클래스 100 등급의 청정실을 엉망이 되지 않게 가열하는 방법
클래스 100(ISO 5) 수준의 청정한 환경에서 작업할 때, 가장 원하지 않는 것은 불필요한 입자들이 제품의 품질을 해치는 것입니다. 이런 문제는 생각보다 자주 발생합니다. 일반적인 적외선 램프를 사용하면, 그 램프가 열을 내면서 저품질의 코팅이나 접착제들이 벗겨지기 시작합니다. 그러면 웨이퍼 위에 이물질들이 남게 되죠. 정말 악몽 같은 상황입니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 고순도 합성 석영과 진공 증착된 금을 사용하기로 결정했습니다.
왜 금인가?
금은 산화되지 않기 때문입니다. 알루미늄과 은도 어떤 용도로는 적합하지만, 시간이 지나면서 오염물이 쌓여서 결국 벗겨집니다. 하지만 금은 그대로 유지됩니다.
게다가 금은 매우 효율적입니다. 적외선을 목표물 쪽으로 반사시켜 주기 때문에, 부품에 필요한 열이 공급되고, 기계의 프레임도 과도하게 가열되는 것을 방지할 수 있습니다.
청결을 유지하는 방법
램프는 고순도 석영으로 만들어졌으므로, 금속성 불순물이 생산 구역으로 유입될 걱정은 없습니다.
또한 유기성 접착제나 실란트도 사용하지 않습니다. 모든 부분은 용접되거나 기계적으로 고정됩니다. 그래서 작동 온도에 도달했을 때 화학물질이 청정한 공간으로 배출되는 것을 막을 수 있습니다.
주의해야 할 사항
이 램프들은 매우 강력합니다. 금 반사체 덕분에 거의 모든 에너지가 앞쪽으로 방출되므로 열이 매우 강력합니다.
PID 컨트롤러를 조심스럽게 조절해야 하며, 온도가 너무 높아지지 않도록 해야 합니다. 또한冷却팬이 램프의 열을 제대로 날려주는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전기 커넥터가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.
우리는 이 램프들을 반도체 및 의료 기기용으로 설계했습니다. 이렇게 하면 필요한 열을 얻으면서도 환경을 깨끗하게 유지할 수 있습니다. 아주 간단합니다.