למה אנו משתמשים בייבוש באמצעות קרינת אינפרא-אדום לחומרים ללא עופרת כאשר מייבשים שבבי חיישני MEMS, יש בעיה מיוחדת: יש צורך להיפטר מכל טיפת לחות וחומר...

על הקרש החצץ, הוופר יוצא ממיכל השטיפה ועובר לשלב הייבוש. נקודת חום אחת יתרה, שינוי בטמפרטורה – והדפוס שנוצר על ידי הפוטורזיסט עלול להיהרס. ייצרנו את...