ওয়েফারের তাপমাত্রা অনুমান করা বন্ধ করুন।
যদি আপনি একটি “স্মার্ট ফ্যাব” তৈরি করতে চান, তাহলে পুরানো কন্টাক্ট থার্মোকাপলগুলো ব্যবহার করা উচিত নয়। কারণ এগুলো আর কাজে আসে না। ওয়েফার পরীক্ষার জন্য আমরা হাই-স্পিড ইনফ্রারেড (IR) সেন্সিং ব্যবহার করি। এর ফলে আমরা সাবস্ট্রেটকে স্পর্শ না করেই রিয়েল-টাইমে তাপমাত্রা জানতে পারি।
যদি আপনি চান যে আপনার “ডিজিটাল টুইন”টি বাস্তব জগতের অবস্থার সাথে মিলে যাক, তাহলে আপনার উচিত নিরন্তর হাই-ফ্রিকোয়েন্সির ডেটা পাওয়া। এটা পাওয়ার একমাত্র উপায় হলো নন-কন্টাক্ট সেন্সিং।
IR সেন্সিং সম্পর্কে বিস্তারিত
এটা মূলত প্ল্যাঙ্কের সূত্রের উপর নির্ভর করে—অর্থাৎ ইনফ্রারেড বিকিরণকে তাপমাত্রায় রূপান্তরিত করা হয়। কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে: সিলিকন বা GaAs-এর জন্য সঠিক ইমিসিভিটি সেটিং অবশ্যিক। যদি এগুলো ঠিক না থাকে, তাহলে আপনার ডেটা অর্থহীন হয়ে যাবে।
সবকিছু ঠিক রাখার জন্য আমরা নার্ভ-ব্যান্ড পাইরোমেট্রি ব্যবহার করি। এটা হিটিং এলিমেন্টগুলো থেকে নয়েজ ফিল্টার করে; ফলে সেন্সরটি ওয়েফারের দিকেই মনোযোগ দেয়, ফার্নেসের দেয়ালের দিকে নয়।
ডেটাকে কার্যকর করা
এগুলো শুধুমাত্র শেলফে রাখা কিছু সাধারণ যন্ত্র নয়। আমরা এই সেন্সরগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করি যাতে কাঁচা ডিজিটাল সংকেতগুলো সরাসরি PLC বা SCADA সিস্টেমে পাঠানো যায়।
এখানেই আসল কথা। আপনি ক্লোজড-লুপ PID কন্ট্রোল পান। যদি কোনো জায়গায় অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হয়, তাহলে আপনি মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই পাওয়ার সেটিং পরিবর্তন করতে পারেন। এটা খুবই দ্রুত।
শুধু একটি বিষয় মনে রাখবেন: এত বেশি ডেটা দুর্বল নেটওয়ার্ককে অকার্যকর করে দিতে পারে। তাই নিশ্চিত হোন যে আপনার কাছে উচ্চ-ব্যান্ডউইডথের ফিল্ডবাস রয়েছে; নইলে আপনাকে ল্যাগের সমস্যার মুখোমুখি হতে হবে।
খারাপ দিকগুলো (কারণ কিছুই নিখুঁত নয়)
ইতিবাচক দিকগুলো অনেক। আর কোনো প্রোব দ্বারা দূষণ হবে না; ওয়েফার ভাঙার ঝুঁকিও নেই। আপনার উৎপাদন ক্ষমতা বৃদ্ধি পাবে।
কিন্তু কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার। IR সেন্সিং-এর জন্য স্পষ্ট দৃষ্টিলিনিয়াম প্রয়োজন। যদি আপনার টুলটির আকৃতি অদ্ভুত হয়, অথবা এতে কোনো শেল্ডিং থাকে, তাহলে আপনার সেন্সরগুলো কাজ করতে পারবে না। ডিজাইন পর্বে সেন্সরগুলো কোথায় রাখবেন সে বিষয়ে সাবধান থাকুন।
আর গ্লাসের ব্যাপারটাও মনে রাখবেন। যদি প্রক্রিয়ার ফলে গ্লাসটি ঘন হয়ে যায়, তাহলে ডেটাগুলো ভুল হয়ে যাবে। তাই অপটিক্সগুলো স্বচ্ছ রাখার জন্য পরিষ্কার করার ব্যবস্থা করুন।