فیبرکیٹنگ کے دوران، لیزر کے استعمال سے عموماً کوئی خرابی پیدا نہیں ہوتی۔ دراصل، یہ مسائل تب شروع ہوتے ہیں جب سبسٹریٹ بہت ٹھنڈا رہتا ہے، غیر یکساں حالت میں ہوتا ہے، یا فوٹوریزسٹ کے تھرمل بجٹ سے باہر چلا جاتا ہے۔ اس کی وجہ سے مائکرو-چپنگ، کناروں پر دراڑیں، اور مختلف جگہوں پر مختلف قسم کی خرابیاں پیدا ہوتی ہیں۔ ہم نے لیزر ویفر کی کٹنگ کے دوران درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے لئے ایک خصوصی ہیٹر تیار کیا ہے، تاکہ ہر بار درستگی سے کٹنگ ہو سکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہیٹڈ زون میں ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور اس سے پروسیس کا ماحول مستقل رہتا ہے۔ ہیٹر کلاس 1–100 کے کلین روم ماحول کے لئے موزوں ہے، اور اس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جس سے پروڈکشن کے دوران کوئی خرابی نہیں ہوتی۔ یہ لیزر کٹنگ پلیٹ فارم سے جڑ جاتا ہے، اور 24/7 کام کرتا ہے، جس سے پروڈکشن کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے۔
اس کی اہمیت کیوں ہے؟
لیزر کٹنگ کا عمل درجہ حرارت سے بہت متاثر ہوتا ہے۔ اگر ویفر کم درجہ حرارت پر ہو، تو لیزر کی توانائی سے فلم اور سبسٹریٹ میں تناؤ پیدا ہوتا ہے، جس سے خرابیاں پیدا ہوتی ہیں۔ اگر درجہ حرارت زیادہ ہو، تو فوٹوریزسٹ نرم ہو جاتا ہے، جس سے کٹنگ کی درستگی متاثر ہوتی ہے۔
یہ ہیٹر ویفر کے درجہ حرارت کو کنٹرول کرتا ہے، جس سے فوٹوریزسٹ کی سالمیت برقرار رہتی ہے، اور کٹنگ کی درستگی بہتر ہوتی ہے۔ اس سے رد کیے گئے پروڈکٹس کی تعداد کم ہوتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور پروڈکشن کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے۔
کچھ عملی نکات:
انسٹالیشن کے دوران گیس کے بہاؤ کی سمت اور ایگزاسٹ کے راستے کو درست رکھنا ضروری ہے؛ ورنہ ویفر کے کناروں پر درجہ حرارت میں فرق پیدا ہو جاتا ہے۔ ہیٹر جلد ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، لیکن درجہ حرارت کا کنٹرول کیریئر کی ساخت اور چیمبر کے تھرمل ماس پر منحصر ہے، لہذا پورے سسٹم کی جانچ ضروری ہے، صرف ہیٹر کی نہیں۔ مواد کا انتخاب کلین روم کے ماحول کے لئے کیا گیا ہے، لیکن ویٹ پروسیس کے دوران بھی مناسب طریقہ کار کی ضرورت ہے۔