پتھریلے فرش پر، ویفر کو دھونے کے بعد خشک کرنے کے مرحلے سے گزارا جاتا ہے۔ اگر درجہ حرارت میں کوئی تغیر ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی ساخت خراب ہو سکتی ہے۔ ہم نے اپنے MEMS ویفر خشک کرنے والے آلے میں ایسے حل استعمال کیے ہیں تاکہ ایسی صورتحال سے بچا جا سکے؛ کیوں کہ اس کام میں کوئی استثناء قابل قبول نہیں ہے۔
ڈیزائن کے اندر کیا اہم ہے؟
ہم کوارٹز-ہیلوجن ایمیٹرز کا استعمال کرتے ہیں، جس سے تیز رفتار، درست سمت میں حرارت پیدا ہوتی ہے، اور حرارتی تأخیر کم ہوتی ہے۔ ویفر پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جبکہ سیٹ پوائنٹ کی درستگی ±0.5°C کے اندر رہتی ہے۔ اس طرح ہر بار ویفر کو مناسب طریقے سے خشک کیا جاتا ہے۔ کلین روم کے ماحول میں بھی یہ آلہ بہترین کارکردگی دکھاتا ہے؛ کیوں کہ ہیٹر کے جسم پر پیسیویٹڈ مواد استعمال کیے گئے ہیں، اور ہوا کے بہاؤ کو کنٹرول کرنے کے لیے خصوصی منصوبہ بندی کی گئی ہے۔ اس طرح یہ آلہ کلاس 1–100 کے ماحول میں بھی بہترین کارکردگی دکھاتا ہے۔ یہ آلہ 24 گھنٹے مستقل طور پر کام کرتا ہے، اور رپورٹس کے مطابق اس کی دیکھ بھال کے درمیانی وقفہ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے، اور ہیٹر سے متعلق کوئی غیرمتوقع بندش نہیں ہوتی۔
MEMS میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
MEMS میں خشک کرنے کا مطلب صرف پانی کو نکالنا نہیں، بلکہ فوٹوریزسٹ کی ساخت کو برقرار رکھنا بھی ہے۔ یہ ہیٹر تیزی سے خشک کرنے کا کام کرتا ہے، لہذا فوٹوریزسٹ کی ساخت برقرار رہتی ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ درست حرارتی کنٹرول سے حساس فلموں کی حفاظت ہوتی ہے، اور اہم ابعاد کو برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔ اس کے نتیجے میں نقائص کم ہوتے ہیں، پہلی بار ہی مطلوبہ نتائج حاصل ہوتے ہیں، اور عمل کا وقت بھی مستقل رہتا ہے۔ چوںکہ ایمیٹرز بہت موثر ہیں، اس لیے چیمبر میں کم حرارت ضائع ہوتی ہے، اور توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔
نصب کرتے وقت کیا تیاریاں ضروری ہیں؟
آپ کو آلے کی میکانی ساخت اور کولنٹ کی خصوصیات کو مدِ نظر رکھنا ہوگا۔ ہم جہتی ڈرائنگز اور انٹرفیس پن نمبر فراہم کرتے ہیں، لیکن کولنٹ کی رفتار اور درجہ حرارت کی جانچ آپ کو خود کرنی ہوگی؛ ورنہ آلہ زیادہ گرم ہو سکتا ہے۔ ہیٹر اس وقت بہترین کارکردگی دکھاتا ہے، جب چیمبر کا دباؤ اور گیس کی ساخت مطلوبہ حدود کے اندر رہتی ہے۔ انضمام کے دوران، مختصر وقت کے لیے حرارتی ٹیسٹ کرنا ضروری ہے؛ تاکہ یکسانیت کی تصدیق ہو سکے، اور ویفر کی ساخت کو برقرار رکھا جا سکے۔