Neden kurşunsuz yarı standartlarda kızılötesi kurutma yöntemi kullanılır? MEMS sensör waflarını kuruturken karşılaştığınız zorluklar vardır. Her bir...

Taş zemin üzerinde, wafer yıkama işleminden çıkıp kurutma aşamasına geçer. Bir noktada sıcaklık kontrolü kaybolursa, fotorezist deseni bozulabilir....