No chão de pedra, a placa fotolítica sai da etapa de enxágue e entra na fase de secagem. Qualquer ponto quente ou variação de temperatura pode causar danos ao padrão criado pelo fotoresista. Por isso, desenvolvemos um aquecedor especial para secar as placas MEMS, a fim de evitar que isso aconteça – afinal, nesse tipo de indústria, não se pode permitir exceções.
O que é importante por trás disso tudo Usamos emissores de infravermelho de onda curta com tecnologia de quartzo-halógeno. Isso permite que o calor seja fornecido de forma rápida e direcionada, com mínimo atraso térmico. A uniformidade da temperatura ao longo da placa é mantida em ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de temperatura fica entre ±0,5°C. Assim, cada processo de secagem ocorre exatamente conforme as especificações estabelecidas. O design do equipamento leva em consideração as condições do ambiente limpo: materiais passivados no corpo do aquecedor e um sistema de fluxo de ar projetado para minimizar a liberação de partículas, permitindo que o equipamento funcione em ambientes de classe 1–100. O equipamento mantém sua eficiência constante o tempo todo; os dados de campo mostram que ele consegue funcionar por mais de 5.000 horas sem necessidade de manutenção, sem interrupções não planejadas.
Por que isso é importante para os MEMS Nos MEMS, a secagem não se trata apenas de remover a água. Trata-se também de proteger a integridade das estruturas antes e depois do processo de desenvolvimento. Este aquecedor permite que a secagem ocorra rapidamente, sem superaquecimento, mantendo assim a integridade do padrão criado pelo fotoresista e reduzindo a necessidade de retrabalho. O controle térmico preciso também ajuda a diminuir o consumo energético, protegendo as camadas delicadas e garantindo um controle preciso das dimensões críticas. O resultado é menos defeitos, maior taxa de sucesso nas primeiras tentativas de produção e tempos de processamento mais consistentes. Além disso, como os emissores são eficientes e o calor é direcionado, desperdiçamos menos energia, o que reduz ainda mais o consumo energético.
O que planejar durante a instalação É necessário garantir que as especificações mecânicas e de refrigeração do equipamento estejam alinhadas com as necessidades do processo. Nós fornecemos os desenhos dimensionais e as especificações dos conectores, mas cabe a você verificar a taxa de fluxo do refrigerante e a temperatura de entrada – caso contrário, há risco de superaquecimento. O aquecedor funciona melhor quando a pressão e a composição do gás dentro da câmara estão dentro dos limites especificados. Durante a integração, é necessário realizar um teste de tempo térmico para confirmar a uniformidade da temperatura e ajustar o perfil de secagem de acordo com as características da placa empregada.