Na linii produkcyjnej nie występuje żaden sygnał ostrzegawczy związany z odchyleniami termicznymi. One objawiają się spadkiem jakości produktu oraz niestabilnością parametrów CD. Lampy Mattson RTP są tak zaprojektowane, aby proces suszenia i utwardzania fotopolimeru odbywał się w granicach określonego zakresu temperatury – dokładnie tam, gdzie to konieczne.
Co jest istotne pod względem technicznym Używamy halogenowych lamp o krótkich falach podczerwieni, posiadających kwarcową osłonkę. Takie lampy umożliwiają szybkie dostanie się do pożądanej temperatury oraz utrzymanie jej na tym poziomie. Dzięki temu uzyskujemy jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki wynoszącą ±0,1°C w całym oknie czasowym procesu. Ponadto profile suszenia są stałe i powtarzalne z każdym razem. Te lampy utrzymują stałą wydajność przez tysiące godzin – mamy egzemplarze, które pracują już ponad 5 000 godzin z spadkiem wydajności poniżej 5%. Ponieważ nie wytwarzają żadnych cząstek podczas pracy, ilość cząstek w pomieszczeniu pozostaje na poziomie odpowiadającym klasie 1–100.
Dlaczego to ma znaczenie w litografii W linii litograficznej potrzebny jest proces delikatnego suszenia, który skutecznie usunie rozpuszczalniki, a także proces intensywnego suszenia, który umożliwi utwardzenie fotopolimeru bez nadmiernych odchyleń. Te lampy zapewniają taką powtarzalność, a także pomagają w szybkim i równomiernym usunięciu pozostałości wilgoci z płytki. W rezultacie mamy mniej odpadów, mniej pracy dodatkowej, a także mniejsze zużycie energii dzięki efektywnemu oddawaniu ciepła i szybkiemu ustalaniu się temperatury.
Detale, na które należy zwrócić uwagę podczas instalacji Instalacja jest prosta, ale konieczna jest sprawdzenie orientacji lampy oraz ustawienia reflektorów. Błędna ustawienie może powodować lokalne obszary o wysokiej temperaturze i odchylenia. Upewnij się, że konektor, napięcie i system chłodzenia pasują do twojej komory, a także planuj regularne kontrole optyczne. Wczesne wykrycie problemów zapobiega trudnościom w kontroli procesu.