Na linii produkcyjnej nie możesz sobie pozwolić na czekanie po procesie spłukiwania. Każda ilość pozostałej wody sprzyja powstawaniu cząsteczek oraz pogorszeniu właściwości fotorezystu. To już oznacza straty w wydajności jeszcze przed rozpoczęciem procesu litografii. Cykle suszenia powodują opóźnienia, zmniejszają szybkość pracy i dodają elementów niezależnych od kontroli – których w ogóle nie potrzebujemy. Stworzyliśmy lampę do szybkiego suszenia płytek, aby skrócić ten czas i zachować nienaruszoną strukturę powierzchni.
Co jest istotne pod względem technicznym Wykorzystujemy krótkofalowe i średniofalowe promieniowanie podczerwone, skalibrowane tak, aby energia dotarła do powierzchni szybko i bez kontaktu fizycznego. W strefie aktywnej jednolitość temperatury wynosi ±0,1°C, co chroni warstwy materiału, których nie można narażać na dodatkowe obciążenia. Powtarzalność temperatury między różnymi sesjami produkcji wynosi ±0,5°C, więc parametry procesów suszenia pozostają stabilne.
Lampa nadaje się do używania w pomieszczeniach o klasyfikacji od 1 do 100. Potwierdzono brak żadnych cząsteczek o rozmiarze 0,1 mikrona lub mniejszym. W praktyce lampa pracuje 24/7 bez przerw, a stabilność wydajności pozostaje na poziomie 2% przez ponad 5 000 godzin pracy.
Dlaczego jest przydatna w procesie produkcji Od razu po spłukaniu lampa eliminuje wodę z powierzchni płytki w ciągu kilku sekund. Można więc natychmiast przesłać płytkę do urządzenia do suszenia fotorezystu, bez konieczności usuwania kropelek lub smug na jej powierzchni. Dzięki temu skraca się czas procesu suszenia i zużywa się mniej energii. Ponieważ punkt wyjścia dla procesu suszenia jest suchy i stabilny, parametry procesu suszenia są lepiej kontrolowane. Wynikiem jest większa liczba płytek przygotowanych na godzinę oraz mniej produktów uszkodzonych z powodu wilgoci.
Realia zastosowania Lampa wymaga zasilania 24 VDC odpornego na warunki panujące w pomieszczeniach o wysokiej czystości, a także specjalnego systemu chłodzenia. Istnieją zestawy adaptacyjne dostępne dla najpopularniejszych urządzeń do pokrywania płytek. Dokładność ustawienia lampy względem płytki wynosi ±0,5 mm, dlatego konieczna jest pomoc inżyniera w pierwszej konfiguracji urządzenia. Przed rozpoczęciem pracy należy przeznaczyć 30 minut na sprawdzenie jednolitości temperatury na specyficznej płytki.