Op de productielijn wordt thermische afwijkingen niet weergegeven door een waarschuwingslicht. In plaats daarvan leiden ze tot een verminderde opbrengst en tot onregelmatigheden in de controle van de CD-kwaliteit. De Mattson RTP-lampen zijn zo ontworpen dat ze ervoor zorgen dat de droogtijd en de tijd die nodig is voor het verhitten van de fotoresist binnen de gewenste temperatuurbereik blijven.
Wat belangrijk is achter de schermen We gebruiken kortegolflange infraroodhalogeenlampen met een kwartsomhulsel. Deze lampen zijn zo geprogrammeerd dat ze snel op temperatuur komen en een constante temperatuur behouden. Hierdoor is de temperatuur op het gewicht gelijkmatig, met een verschil van ±0,1°C gedurende het hele proces. Bovendien leveren deze lampen een consistent resultaat, zelf na duizenden uren gebruik. We hebben lampen die al meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de prestaties meer dan 5% dalen. Omdat deze lampen geen deeltjes uitscheiden tijdens het gebruik, blijft het aantal deeltjes in de zuiverruimte binnen de gewenste grenzen.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie In een lithografielijn is het belangrijk om een zachte verhittingsfase te hebben, zodat het oplosmiddel effectief kan worden verwijderd. Daarnaast is er ook een harde verhittingsfase nodig, zodat de fotoresist goed kan worden vastgezet, zonder dat dit leidt tot ongewenste afwijkingen in de CD-kwaliteit. Deze vervangende lampen zorgen voor consistente resultaten en helpen ook bij het drogen van de wafers, zodat overtollig vocht snel en gelijkmatig kan worden verwijderd. Het voordeel is dat er minder afval ontstaat, minder herwerkingswerk is nodig en er minder energie wordt verbruikt, dankzij de efficiënte straling en snelle temperatuurregulatie.
De details die belangrijk zijn bij de installatie De installatie is eenvoudig, maar de oriëntatie van de lampen en de alignment van de reflectoren moeten goed worden gecontroleerd. Verkeerde alignment kan leiden tot lokale hittepunten en temperatuurafwijkingen. Zorg ervoor dat de basisconnector, de spanning en de koelingssysteem overeenkomen met die van uw apparatuur. Houd ook een schema bij voor optische controle. Door problemen op tijd op te sporen, blijft de procescontrole in orde.