Op het gebied van de productie van biosensoren kan men geen enkele afwijking tolereren. De verzachting en verharding van de fotoresist bepalen het thermische regime; als deze processen zelfs maar met een paar graden niet nauwkeurig uitgevoerd worden, gaan de microfluidische kanalen en sensorelementen snel hun precisie verliezen. Infraroodverwarming is een goede oplossing, mits de lamp een constante en evenwichtige hoeveelheid energie levert.
Wat belangrijk is, is dat we korte-golf NIR-emitters gebruiken die zijn ontworpen voor een snelle thermische respons en een stabiele temperatuur. Het systeem houdt de uniformiteit op het niveau van de chips binnen ±0,1°C, zodat elke behandeling volgens de vereisten verloopt.
De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 is ingebouwd in het systeem: er wordt gebruik gemaakt van afgesloten behuizingen, materialen met lage gasontwikkeling en een airflow die de concentratie van deeltjes onder controle houdt. Hierdoor blijft de output over 5.000 uur of meer consistent, met een afwijking van minder dan 5%.
Waarom dit nuttig is voor biosensors: er worden dunne lagen en fotoresistlagen op elkaar geplakt, die alle thermische gegevens onthouden. Met deze lamp kan men de gewenste temperatuur sneller bereiken en deze beter behouden. Dit reduceert ook de noodzaak om de fotoresist opnieuw te bewerken, wat anders kan leiden tot oneffenheden. Het resultaat is een grotere nauwkeurigheid in de afmetingen en minder defecten.
Er wordt ook energie bespaard, omdat de lamp alleen op demand wordt verhit en snel koelt. Dit zorgt voor een hogere productiviteit.
Practisch gezien kan de lamp worden geïntegreerd in standaard halfgeleidermodules. Echter, de montagemogelijkheden en de thermische eigenschappen van de kamer moeten overeenkomen met de configuratie van het apparaat. Er is een korte opwarmtijd nodig om de gewenste temperatuur te bereiken. Het is ook belangrijk om regelmatig kalibraties uit te voeren om de emissiviteit en de afwijkingen van de temperatuur vast te stellen.
Als er sprake is van hoge luchtvochtigheid, moet er extra aandacht worden besteed aan het voorkomen van condensvorming rondom het lampvenster. Anders kan er sprake zijn van afwijkingen in de temperatuur.