Berhenti teka-teki mengenai suhu wafer anda
Jika anda ingin membina fasiliti pengeluaran yang canggih, anda perlu meninggalkan penggunaan termokopel konvensional. Alat tersebut sudah tidak lagi efektif untuk tujuan ini. Untuk mengukur suhu wafer, kita menggunakan sensor inframerah berkelajuan tinggi. Dengan cara ini, kita dapat memperoleh maklumat suhu secara masa nyata, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer itu sendiri.
Jika anda ingin agar “digital twin” anda mencerminkan keadaan sebenar di dunia nyata, anda memerlukan aliran data berfrekuensi tinggi secara berterusan. Penggunaan sensor tanpa sentuhan merupakan satu-satunya cara untuk mendapatkan data tersebut.
Prinsip asas penggunaan inframerah
Semuanya berkaitan dengan Hukum Planck – iaitu menukar radiasi inframerah menjadi bacaan suhu. Namun, terdapat cabaran tertentu: anda perlu menetapkan nilai emisiviti yang tepat untuk silikon atau GaAs. Jika nilai ini salah, data yang diperoleh akan tidak berguna.
Untuk memastikan ketepatan data, kita menggunakan teknik pirometri berbanda sempit. Teknik ini membantu menghilangkan gangguan dari elemen pemanas, supaya sensor dapat fokus pada wafer, bukan pada dinding ketuhar.
Menghasilkan data yang berguna
Sensor ini bukan sekadar alat yang digunakan untuk pengukuran biasa. Kita merancang sensor ini agar dapat menghantar isyarat digital secara langsung ke sistem PLC atau SCADA.
Inilah kelebihannya: kawalan PID yang efektif dapat dilakukan. Jika terdapat kawasan yang terlalu panas, anda boleh menyesuaikan kuasa pemanasan dalam masa milisaat sahaja. Sangat cepat.
Namun, perlu diingat bahawa jumlah data yang besar boleh menyebabkan masalah pada rangkaian yang lemah. Pastikan anda menggunakan bus data berkelajuan tinggi, agar tiada kelewatan dalam penghantaran data.
Kelebihan dan kekurangan (kerana tiada apa yang sempurna)
Kelebihannya sangat besar. Tidak perlu lagi risau tentang kotoran pada probe, atau keretakan wafer secara tidak sengaja. Hasil pengeluaran juga akan menjadi lebih baik.
Namun, ada beberapa perkara yang perlu diperhatikan. Inframerah memerlukan garis pandangan yang jelas. Jika alat tersebut mempunyai bentuk yang pelik atau lapisan pelindung di dalamnya, maka akan timbul masalah dalam pengukuran. Anda perlu memilih lokasi yang sesuai untuk meletakkan sensor semasa proses reka bentuk.
Selain itu, kaca yang digunakan juga perlu dipastikan bersih. Jika kaca menjadi keruh akibat sisa proses pengeluaran, bacaan suhu akan menjadi tidak tepat. Anda perlu memastikan kaca sentiasa bersih, sama ada dengan menggunakan proses pembersihan atau gas pembersih.