Menjaga Kebersihan Wafer Semasa Proses Pemanasan Berlangsung
Dalam persekitaran yang memerlukan pengeluaran dalam kuantiti yang besar, satu kegagalan kecil saja sudah cukup untuk merosakkan keseluruhan proses pengeluaran. Jika tiub inframerah pecah, ia bukan sahaja akan menghentikan proses pemanasan, tetapi juga akan menyebabkan serpihan kuarza dan gas halogen jatuh ke atas wafer silikon tersebut. Ini merupakan situasi yang sangat buruk, yang boleh merosakkan seluruh batch wafer dalam masa beberapa saat sahaja.
Kami membina sistem pemanasan inframerah yang khusus untuk mencegah keadaan sedemikian daripada berlaku.
Menentukan Jarak yang Sesuai
Memang mudah untuk meletakkan lampu secepat mungkin dekat dengan permukaan wafer agar suhu pemanasan dapat ditingkatkan. Namun, semakin dekat lampu tersebut dengan wafer, semakin tinggi risiko serpihan tersebut jatuh ke atas wafer. Kami menggunakan jarak yang telah dikira dengan teliti untuk memastikan suhu pemanasan yang diperlukan dapat dicapai, sambil masih ada lapisan perlindungan antara lampu dan wafer. Jika tiub tersebut pecah, lapisan pelindung tersebut akan menahan serpihan tersebut daripada mengenai wafer.
Menambah Lapisan Perlindungan
Beban yang tinggi memberi tekanan yang besar pada peralatan. Untuk menghadapi risiko kerosakan, kami tidak hanya bergantung pada harapan semata-mata—kami juga menggunakan lapisan pelindung yang kukuh. Kami menggunakan pelindung berbahan kuarza yang berkualiti tinggi. Ia berfungsi sebagai lapisan pelindung yang akan menahan serpihan tersebut. Dengan cara ini, wafer masih dapat menerima haba yang diperlukan, tanpa rosak.
Menguruskan Tekanan
Lampu yang berkuasa tinggi menghadapi tekanan yang besar setiap kali ia digunakan. Lama-kelamaan, tekanan tersebut akan menyebabkan kerosakan pada lampu tersebut. Untuk mengatasi masalah ini, kami menggunakan penutup yang kuat serta sistem kawalan voltan yang efektif untuk mengelakkan kerosakan. Namun, sistem penyejukan juga perlu berfungsi dengan baik. Jika bahagian penutup menjadi terlalu panas, lapisan pelindung tersebut akan kehilangan kekuatannya, dan itulah masa di mana risiko kerosakan akan meningkat.
Selain itu, reka bentuk lampu tersebut disederhanakan supaya mudah diganti apabila tiubnya rosak. Tidak perlu meluangkan masa untuk menyesuaikan jarak atau membetulkan susunan lampu tersebut. Cukup gantikan tiub tersebut dengan yang baru, dan semula boleh meneruskan kerja.