Sul piano di lavoro in pietra, il wafer esce dalla fase di risciacquo e passa alla fase di essiccazione. Anche un picco di temperatura o un piccolo difetto nella regolazione della temperatura possono causare problemi: il disegno del fotoresist potrebbe risultare alterato. Abbiamo progettato un riscaldatore specifico per l’essiccazione dei wafer MEMS, proprio per evitare che ciò accada… perché in questo settore non si possono fare eccezioni.
Cosa è importante nel funzionamento del dispositivo
Utilizziamo emissori a infrarossi a lunghezza d’onda corta, dotati di elementi a quarzo-ioduro. Questo permette di ottenere un riscaldamento rapido e mirato, con un ritardo termico minimo. L’uniformità della temperatura su tutto il wafer viene mantenuta entro ±0,1°C, mentre la precisione della regolazione della temperatura rimane entro ±0,5°C. In questo modo, ogni processo di essiccazione avviene secondo le specifiche previste. Il design del dispositivo prevede l’uso di materiali passivanti sull’elemento riscaldante, nonché un sistema di flusso d’aria progettato per ridurre al minimo la produzione di particelle, garantendo così il funzionamento corretto anche in ambienti di classe 1–100. Il dispositivo mantiene una temperatura stabile 24 ore su 24; i dati raccolti indicano che è possibile utilizzarlo per oltre 5.000 ore senza interruzioni dovute a problemi legati al riscaldatore.
Perché è utile nei dispositivi MEMS
Nei dispositivi MEMS, l’essiccazione non consiste soltanto nel rimuovere l’acqua dal wafer. Si tratta anche di proteggere l’integrità delle strutture presenti sul wafer, sia prima che dopo lo sviluppo. Questo riscaldatore permette un’essiccazione rapida, senza che si verifichino variazioni troppo grandi di temperatura; così il disegno del fotoresist rimane intatto e si riducono i rischi di dover rifare il lavoro. Un controllo preciso della temperatura permette inoltre di ridurre il consumo energetico, proteggendo così le strutture delicate presenti sul wafer e migliorando il controllo delle dimensioni critiche. Il risultato è una maggiore qualità dei prodotti, un tasso di successo più alto e tempi di ciclo coerenti. Inoltre, grazie all’efficienza degli emissori e al calore concentrato, si spreca meno energia, riducendo ulteriormente i costi energetici.
Cosa bisogna considerare durante l’installazione
È necessario assicurarsi che le caratteristiche meccaniche del dispositivo e quelle del sistema di raffreddamento siano compatibili tra loro. Noi forniamo i disegni tecnici e le specifiche relative alle connessioni, ma spetta a voi verificare il flusso di refrigerante e la temperatura di ingresso del fluido refrigerante: altrimenti si rischia surriscaldamento. Il riscaldatore funziona al meglio quando pressione e composizione del gas all’interno della camera rimangono entro i limiti previsti. Durante l’integrazione, è fondamentale effettuare una breve prova di funzionamento per verificare l’uniformità della temperatura e per adattare il profilo di riscaldamento alle caratteristiche specifiche del wafer.