Nella sala di produzione, lo spostamento termico non viene indicato da luci di avvertimento. Si manifesta invece come una perdita di resa dei prodotti finiti e come un controllo della concentrazione di particelle che diventa meno preciso. Le lampade Mattson RTP sono progettate per mantenere i processi di essiccazione e trattamento della fotoretina entro i limiti termici previsti.
Ciò che è importante sotto il cofano della lampada
Utilizziamo lampade a infrarossi a onde corte, con involucro in quarzo, progettate per garantire un aumento graduale della temperatura e uno stato stabile e ripetibile. Questo permette una uniformità della temperatura su tutto il wafer di ±0,1°C durante l’intero processo. Inoltre, queste lampade mantengono una potenza costante anche dopo migliaia di ore di funzionamento: abbiamo unità che funzionano da oltre 5.000 ore con una riduzione della potenza inferiore al 5%. Poiché non producono particelle durante il funzionamento, il numero di particelle presente nella sala pulita rimane entro i limiti previsti dalla classe 1–100.
Perché questo è importante per la litografia
In una linea di litografia è necessario un processo di essiccazione efficace per eliminare i solventi, nonché un processo di trattamento della fotoretina che permetta di fissarla senza causare variazioni nella sua concentrazione. Queste lampade garantiscono tale ripetibilità, e permettono anche un’essiccazione rapida e uniforme del wafer. Il risultato è una riduzione dei rifiuti, meno lavori di riparazione e un consumo energetico ridotto, grazie a un’efficiente trasmissione di energia e a una rapida stabilizzazione delle condizioni termiche.
Dettagli importanti riguardanti l’installazione
L’installazione è semplice, ma è necessario verificare l’allineamento della lampada e dei riflettori durante lo cambio. Un’allineamento errato può causare zone di surriscaldamento localizzato e problemi legati allo spostamento termico. Assicuratevi che il connettore di base, la tensione e il sistema di raffreddamento siano compatibili con la vostra camera di lavoro. Inoltre, pianificate controlli ottici regolari. Rilevare tempestivamente il termine del ciclo di vita della lampada permette di evitare problemi nel controllo del processo.