फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, लेजर के उपयोग से दोष बहुत कम ही उत्पन्न होते हैं। वास्तव में, ऐसे दोष तब ही उत्पन्न होते हैं, जब सब्सट्रेट बहुत ठंडा रह जाता है, असमान रूप से रखा जाता है, या फोटोरेजिस्ट के तापीय सीमा से बाहर चला जाता है। ऐसी स्थिति में माइक्रो-चिपिंग, किनारों पर दरारें आदि उत्पन्न हो जाती हैं। हमने लेजर वेफर को काटने हेतु एक हीटर बनाया है; ताकि तापमान को नियंत्रण में रखा जा सके, और हर बार सही आकार में कटाई हो सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
गर्म क्षेत्र में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, और सेटपॉइंट की नियमितता के कारण प्रक्रिया हर बार स्थिर रहती है। हीटर, क्लीनरूम-उपयुक्त है, और इसमें कोई कण भी उत्पन्न नहीं होता; इसलिए हर बार कोई संदूषण नहीं होता। यह हीटर, लेजर डाइसिंग प्लेटफॉर्मों में आसानी से एकीकृत हो जाता है, और 24/7 काम करता रहता है।
इसका महत्व: लेजर डाइसिंग, तापीय संवेदनशील प्रक्रिया है। यदि वेफर कम गर्म रह जाता है, तो लेजर ऊर्जा के कारण फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट पर तापीय झटके पड़ते हैं, जिससे वेफर कमजोर हो जाता है। यदि वेफर अत्यधिक गर्म हो जाता है, तो फोटोरेजिस्ट नरम हो जाता है, जिससे कटाई का आकार बदल जाता है।
यह हीटर, कटाई के समय वेफर के तापमान को स्थिर रखता है; इससे फोटोरेजिस्ट की अखंडता बनी रहती है, और कटाई का आकार भी स्थिर रहता है। इसके परिणामस्वरूप अधिक दोष नहीं उत्पन्न होते, कम रीवर्किंग होती है, और उत्पादन दर भी बेहतर रहती है।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
हीटर की स्थापना में गैस प्रवाह की दिशा एवं एक्सहॉस्ट रूटिंग बहुत महत्वपूर्ण है। यदि इसमें गलती हो जाए, तो वेफर के किनारों पर तापीय असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं। हीटर जल्दी ही सेटपॉइंट तक पहुँच जाता है, लेकिन तापीय स्थिरता, कैरियर डिज़ाइन एवं चेंबर के तापीय गुणों पर निर्भर है। इसलिए, केवल हीटर ही नहीं, बल्कि पूरी प्रणाली की जाँच आवश्यक है। और हाँ, इस हीटर में उपयोग होने वाली सामग्रियाँ क्लीनरूम-उपयुक्त हैं; लेकिन वेट-प्रोसेसिंग के दौरान भी सावधानी बरतना आवश्यक है।