लिथो फ्लोर पर, वेफर को धोने के बाद सूखने की प्रक्रिया में डाला जाता है। यदि तापमान में कोई बदलाव हो जाए, तो फोटोरेसिस्ट पैटर्न खराब हो सकता है। ऐसी स्थितियों से बचने हेतु हमने MEMS वेफरों को सूखाने हेतु विशेष उपकरण विकसित किए हैं… क्योंकि इस क्षेत्र में कोई अपवाद स्वीकार्य नहीं है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊष्मा प्रदान करते हैं। इससे तेज़ एवं सटीक ऊष्मा प्राप्त होती है, एवं ऊष्मा का वितरण भी समान रहता है। वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C तक बनी रहती है, जबकि सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.5°C के भीतर ही रहती है। इससे हर बार वेफर को सही तरीके से सूखाया जा सकता है। क्लीनरूम में इस उपकरण का उपयोग करने हेतु इसके डिज़ाइन में ही विशेष व्यवस्थाएँ की गई हैं… जैसे कि हीटर बॉडी पर पैसिवेटेड सामग्रियों का उपयोग, एवं कम कणों के उत्सर्जन हेतु विशेष वायु-प्रवाह व्यवस्था। इससे यह उपकरण क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी कार्य कर सकता है। यह उपकरण 24 घंटे लगातार स्थिर रूप से कार्य करता है… एवं फील्ड डेटा से पता चलता है कि इसकी नियमित रखरखाव आवश्यकताएँ 5,000 घंटों से अधिक हैं, एवं हीटर से संबंधित कोई अप्रत्याशित दिक्कतें नहीं होतीं।
MEMS में इसका क्या महत्व है?
MEMS में सूखाने का कार्य केवल पानी हटाने तक ही सीमित नहीं है… बल्कि यह वेफर की संरचना की रक्षा करने हेतु भी आवश्यक है। यह हीटर तेज़ी से ऊष्मा प्रदान करता है, जिससे फोटोरेसिस्ट पैटर्न अछूता रहता है… एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है। सटीक तापमान नियंत्रण से नाजुक फिल्मों की रक्षा होती है, एवं महत्वपूर्ण आयामों का नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है। इसके परिणामस्वरूप दोष कम हो जाते हैं, पहली बार ही उत्पाद तैयार हो जाता है, एवं चक्र-समय भी स्थिर रहता है। चूँकि एमिटर बहुत ही कुशल हैं, इसलिए चेम्बर में कम ऊष्मा खर्च होती है… जिससे ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है।
स्थापना के समय क्या ध्यान देना आवश्यक है?
उपकरण के यांत्रिक गुणों एवं कूलेंट संबंधी विवरणों का ध्यान रखना आवश्यक है। हम आयामी विवरण एवं इंटरफेस संबंधी जानकारी प्रदान करते हैं… लेकिन कूलेंट के प्रवाह-दर एवं इनलेट तापमान की जाँच आपको ही करनी होगी… वरना ओवरहीटिंग का जोखिम रहेगा। हीटर तभी सबसे अच्छा प्रदर्शन करता है, जब चेम्बर का दबाव एवं गैस की संरचना निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहे। इंटीग्रेशन के दौरान, संक्षिप्त तापमान-परीक्षण भी आवश्यक है… ताकि ऊष्मा-वितरण समान रहे, एवं वेफर का सूखने का प्रक्रिया भी सही रहे।