نگهداری ویفرهای شما در حالت تمیز، در شرایط دمای بالا
در محیطهایی که تولید در آنها به صورت گسترده انجام میشود، یک خرابی کوچک میتواند کل روز کاری شما را خراب کند. اگر لامپهای مادون قرمز خراب شوند، نه تنها گرمایش متوقف میشود، بلکه تکههای کوارتز و گاز هالوژن نیز به روی ویفرهای سیلیکونی شما میریزند. این وضعیت واقعاً فاجعهبار است؛ زیرا میتواند کل محموله تولید شده را در عرض چند ثانیه از بین ببرد.
ما سیستمهای گرمایشی مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که از ورود این ذرات به روی ویفرهای شما جلوگیری شود.
تعادل مناسب فاصله
جذاب است که لامپها را در نزدیکترین فاصله ممکن از سطح ویفرها قرار دهیم تا گرمای بیشتری تولید شود. اما مشکل اینجاست که هرچه فاصله کمتر باشد، خطر اینکه ذرات ناشی از خرابی لامپ به روی ویفرها بریزد، بیشتر میشود.
ما از فاصلههای ایمنی مناسبی استفاده میکنیم؛ یعنی فاصلهای که هم گرمای لازم را به ویفرها منتقل کند، هم از برخورد ذرات به ویفرها جلوگیری کند. اگر لامپ خراب شود، غلاف محافظ، ذرات را در خود جذب میکند و ویفرها دچار آسیب نمیشوند.
استفاده از لایههای حفاظتی
بارهای بالا برای تجهیزات سخت است؛ برای جلوگیری از خرابی، ما فقط به بهترین نتیجه امید نمیکنیم، بلکه از لایههای حفاظتی استفاده میکنیم.
ما از محافظهای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این محافظها مانند یک تور حفاظتی عمل میکنند. اگر لامپ خراب شود، محافظها ذرات شیشهای را در خود جذب میکنند؛ بنابراین ویفرها دچار آسیب نمیشوند.
مقابله با فشارها
لامپهایی با توان بالا، مدام تحت فشار قرار دارند؛ آنها در هر بار روشن شدن، منبسط و انقباض میکنند، و در نهایت، این فشارها باعث خرابی لامپ میشوند.
برای مقابله با این مشکل، ما از غلافهای محکم و سیستمهای تنظیم ولتاژ استفاده میکنیم تا از خرابی لامپ جلوگیری شود. اما مهم این است که سیستم خنککننده نیز باید قادر به انجام وظیفه خود باشد. اگر غلاف لامپ بیش از حد گرم شود، محافظها دیگر قدرت خود را از دست میدهند و در آن صورت، خطرات زیادی پیش میآید.
علاوه بر این، ما ساختار لامپها را ساده نگه داشتهایم؛ بنابراین وقتی لامپ خراب شد، کافی است آن را با لامپ جدیدی جایگزین کنیم. نیازی نیست ساعتها وقت صرف تنظیم فاصلههای ایمنی یا تنظیمات دیگر کنیم؛ کافی است لامپ جدید را جایگزین کنیم و دوباره کار را ادامه دهیم.