در خط تولید، نقصهای ناشی از فرآیند برش با لیزر، به ندرت در هنگام شلیک لیزر رخ میدهند. این نقصها زودتر اتفاق میافتند؛ یعنی زمانی که سطح قرارگیری ویفر خیلی سرد باشد، یا به صورت ناهموار قرار گیرد، یا دمای آن خارج از محدوده مناسب باشد. این مشکلات منجر به ترکخوردگیهای ریز، ترکهای لبهای، و تغییرات در شکل برش میشود. ما یک هیتر برای کنترل دما در فرآیند برش با لیزر طراحی کردهایم؛ تا دما در هر بار برش، در محدوده مشخصی باقی بماند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
در منطقه گرمشونده، یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، قابلیت تکرارپذیری دما نیز وجود دارد که باعث میشود پروسه برش در هر بار تکرار، به طور یکنواخت انجام شود. بدنه هیتر نیز مناسب برای استفاده در اتاقهای پاک است؛ همچنین، این هیتر به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نکند؛ بنابراین در هر بار کار، احتمال آلودگی وجود ندارد. این هیتر به راحتی میتواند با سیستمهای برش لیزری ادغام شود؛ همچنین، عملکرد آن ۲۴/۷ و با قابلیت اطمینان بالا است.
چرا این موضوع اهمیت دارد؟
فرآیند برش با لیزر، حساس به دما است. اگر ویفر کمتر از حد لازم گرم شود، انرژی لیزر میتواند باعث ایجاد تنش در لایههای موجود بر روی ویفر شود؛ این امر منجر به ترکخوردگیهای ریز و جدا شدن لایهها میشود. اگر ویفر بیش از حد گرم شود، رزین مورد استفاده نرم میشود و لبههای ویفر گرد میشود؛ این امر نیز باعث تغییرات در شکل برش میشود.
این هیتر، دمای ویفر را در نقطه برش تثبیت میکند؛ در نتیجه، یکپارچگی رزین محافظت میشود و یکنواختی برش نیز حفظ میشود. پیامد این امر، کاهش تعداد محصولات مردود، کاهش کارهای تکراری، و افزایش بهرهوری تولید است.
نکات عملی:
نصب این هیتر بستگی به جهت جریان گاز و مسیر خروج گاز دارد؛ اگر این موارد به درستی انجام نشوند، تفاوتهای دمایی در لبههای ویفر ایجاد خواهد شد. هیتر به سرعت به دمای مورد نظر میرسد، اما تثبیت دما به طراحی سیستم و جرم حرارتی اتاق بستگی دارد؛ بنابراین باید کل سیستم را بررسی کرد، نه فقط هیتر. همچنین، مواد مورد استفاده برای ساخت این هیتر، برای استفاده در اتاقهای پاک انتخاب شدهاند؛ اما در مراحل تولید مرطوب، همچنان نیاز به رعایت رویههای استاندارد وجود دارد.