Trocknungsheizer für MEMS Sensoren
Warum wir die Infrarottrocknung für bleifreie Halbstandards verwenden
Bei der Trocknung von MEMS-Sensorwafern stellt sich ein schwieriges Problem:...
Heizer zum Trocknen von MEMS Wafern
Auf dem Gesteinboden wird die Waferplatte aus dem Spülvorgang genommen und in den Trocknungsvorgang gebracht. Ein einziger Hotspot oder eine...