Auf dem Gesteinboden wird die Waferplatte aus dem Spülvorgang genommen und in den Trocknungsvorgang gebracht. Ein einziger Hotspot oder eine Temperaturabweichung kann dazu führen, dass das Muster des Photoresists beschädigt wird. Deshalb haben wir einen Heizer entwickelt, der dieses Problem verhindert – schließlich darf man in diesem Bereich keine Ausnahmen machen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahlen mit Quarz-Halogen-Emittern. Dadurch entsteht ein schnelles, gezieltes Wärmebild mit minimalen Temperaturunterschieden. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferplatte bleibt bei ±0,1°C, und die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,5°C. So wird jeder Trocknungsprozess genau nach Vorgabe durchgeführt. Die Konstruktion ist auch für Umgebungen der Klasse 1–100 geeignet: Passivierte Materialien am Heizelement sowie eine Luftstromführung, die ein Mindestmaß an Partikelabgabe sicherstellt. Der Heizer hält seine Leistung rund um die Uhr konstant – laut Felddaten sind zwischen den Wartungsarbeiten mehr als 5.000 Stunden ohne Störungen möglich.
Warum das bei MEMS wichtig ist
Bei MEMS geht es nicht nur darum, das Wasser von der Waferplatte zu entfernen. Es geht auch darum, die Integrität der Strukturen vor und nach der Entwicklung zu gewährleisten. Dieser Heizer trocknet schnell, ohne dass es zu Übertemperaturen kommt. Dadurch bleibt das Muster des Photoresists intakt und es werden weniger Nacharbeiten notwendig. Die präzise Temperaturregelung reduziert außerdem den Energieverbrauch – schließlich wird weniger Energie verschwendet.
Was man bei der Installation beachten muss
Man muss die mechanischen Eigenschaften des Geräts sowie die Anforderungen an die Kühlflüssigkeit berücksichtigen. Wir liefern die technischen Zeichnungen und Anschlusspläne, aber Sie müssen selbst die Fließrate der Kühlflüssigkeit sowie die Einlasstemperatur überprüfen – andernfalls besteht die Gefahr von Überhitzung. Der Heizer funktioniert am besten, wenn der Druck im Behälter sowie die Gaszusammensetzung innerhalb der vorgegebenen Grenzen liegen. Während der Integration sollte eine kurze Testphase durchgeführt werden, um die Gleichmäßigkeit der Temperatur sowie die Qualität des Trocknungsprozesses zu überprüfen.