Im Fertigungsbereich entstehen Defekte durch Laserabschnitte selten direkt beim Schneiden. Sie treten eher früher auf – wenn die Substratoberfläche zu kalt ist, uneben liegt oder außerhalb des zulässigen Temperaturbereichs des Photoresists liegt. Solche Probleme zeigen sich in Form von Mikrorissen, Rissen an den Rändern sowie Unebenheiten im Schnittbereich. Wir haben einen Heizer entwickelt, der die Temperatur präzise kontrolliert, sodass der Schnitt jedes Mal im gewünschten Maß erfolgt.
Was technisch wichtig ist:
Es wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1 °C über der beheizten Fläche erreicht. Zudem ist die Genauigkeit der Einstellungen so hoch, dass sich der Prozessschritt für Schritt konstant verhält. Der Heizer ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet und sorgt dafür, dass keine Partikel entstehen – dadurch wird eine Kontamination vermieden. Er kann problemlos in Laser-Schneidplattformen integriert werden und arbeitet 24/7 mit der Zuverlässigkeit, die man in der Massenproduktion erwartet.
Warum das wichtig ist:
Laserabschnitte sind thermosensitiv. Wenn das Substrat unterheizt ist, kann die vom Laser absorbierte Energie zu thermischen Schocks führen – dies wiederum kann zu Spannungen im Material und zur Delamination führen. Wenn das Substrat hingegen überhitzt wird, kann der Photoresist weicher werden und die Ränder des Schnittbereichs können abgerundet werden – dadurch ändert sich die Geometrie des Schnitts.
Der Heizer stabilisiert die Temperatur genau an der Schnittstelle, wodurch die Integrität des Photoresists gewahrt bleibt und die Consistenz des Schnitts verbessert wird. Dadurch werden weniger Ausschussprodukte entstehen, weniger Nacharbeiten erforderlich sein – und die Produktionsgeschwindigkeit bleibt konstant.
Ein paar praktische Hinweise:
Bei der Installation ist besonders auf die Richtung des Gasflusses sowie die Anordnung der Abgasleitungen zu achten – sonst entstehen lokale Temperaturunterschiede entlang der Ränder des Substrats. Der Heizer erreicht schnell die gewünschte Temperatur – doch die endgültige Temperatur hängt vom Design des Trägers sowie von der thermischen Masse des Raumes ab. Deshalb muss der gesamte Systemaufbau überprüft werden, nicht nur der Heizer selbst. Zudem werden die verwendeten Materialien für den Einsatz in Reinräumen ausgewählt – doch bei Schritten, bei denen Lösungsmittel verwendet werden, sind trotzdem strenge Standards einzuhalten.