Wafers warm halten: Die Wahrheit über IR-Heizsysteme
Wenn Sie eine moderne Halbleiterfabrik betreiben, wissen Sie sicherlich bereits, wie wichtig es ist, die Wafers während ihrer Bewegung thermisch stabil zu halten. Doch das in einem Reinraum zu bewerkstelligen, ist nicht einfach.
Deshalb nutzen wir IR-Heizsysteme. Der Vorteil von IR-Heizungen liegt darin, dass es sich um Strahlungswärme handelt. Man muss keine heiße Luft verbreiten – was, wie Sie wissen, dazu führt, dass Staubpartikel in der Luft schweben und die Umgebung zerstört wird. IR-Heizungen funktionieren einfach effektiv.
Intelligente Steuerung – ohne Probleme
Die Qualität der Hardware hängt davon ab, wie gut sie gesteuert wird. Wir entwickeln diese IR-Systeme so, dass sie direkt in Ihre bestehenden PLC-Schaltkreise eingebunden werden können.
Da wir Kurzwellen-IR-Emitter verwenden, ist die Reaktionszeit extrem schnell. Die Heizung wird fast sofort aktiviert und wieder deaktiviert. Dadurch können Sie die Temperatur je nach Lage des Wagens oder den Anforderungen der jeweiligen Wafelchargen anpassen.
Außerdem können Sie genau erfassen, wie viel Energie pro Charge verbraucht wird. So wird die Heizkosten nicht nur zu einem Kostenfaktor, sondern auch zu einer wichtigen Datenerfassungsmöglichkeit, mit der Sie Ihre Produktion effizienter gestalten können.
Alle Details zur Wärmeabgabe
In einem Reinraum ist Platz immer knapp. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir hochdichte Quarzelemente. Da es sich um Strahlungswärme handelt, können diese Elemente ganz nah an die zu heizenden Objekte platziert werden. Man muss sich keine Sorgen wegen eines „Verbrennungsereignisses“ machen – wie es bei herkömmlichen Widerstandsheizungen der Fall ist.
Aber hier ein Rat: Achten Sie auf die Leistungsintensität. Hocheffiziente Lampen erledigen die Arbeit zwar schnell, doch sie verbrauchen viel Energie. Wenn Sie eine hohe Leistung verwenden, stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung und Steckverbindungen dem Strombedarf standhalten können. Andernfalls kommt es zu Spannungsabfällen, was wiederum zu ungleichmäßiger Erwärmung führt. Das möchte niemand.
Sauberkeit gewährleisten
In einer Fabrik ist Kontamination das größte Problem. Deshalb verpacken wir alles in versiegelte Quarzscheiben, damit keine Staubpartikel in den Arbeitsbereich gelangen. Zudem sorgen wir dafür, dass die Hardware leicht zu reinigen ist und den aggressiven Chemikalien standhält, die zur Desinfektion verwendet werden. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie sorgt dafür, dass das Warmhalten der Wafers nicht dazu führt, dass die Produktqualität leidet.