Udržování čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou
Pokud provozujete místnost třídy 100, určitě znáte ten noční můru: jediný drobný zrnko prachu nebo úlomek materiálu může zničit vaše polovodičové destičky. Je to frustrující. Většina topných prvků představuje problém – uvolňují plyny nebo částice právě v okamžiku, kdy je potřeba, aby zůstaly stabilní.
Našli jsme lepší řešení. Používáme infračervené lampy vyrobené z krystalů křemíku vysoké čistoty a spojujeme je s dráty izolovanými Teflonem. Je to jednoduché, ale funguje to.
Výhody krystalů křemíku vysoké čistoty
Pro použití v lampách jsme zvolili syntetický křemen. Proč? Protože se při vysokých teplotách nezměňuje. Standardní sklo během zahřívání a chlazení uvolňuje mikroskopické částice. Ale tento křemen zůstává stabilní. Umožňuje tak infračervenému záření procházet přímo skrz substrát, aniž by sám přehřál. Žádné odchlupy, žádné uvolňování částic – jen čisté, přímé teplo.
Nezapomeňte na dráty
Lampa je sice důležitá, ale to není všechno. Většina lidí přehlíží dráty, ale právě tam obvykle dochází k problémům v čisté místnosti. Pokud použijete standardní PVC dráty v zařízeních na zpracování polovodičů, teplo nakonec ničí izolaci. Začínají se uvolňovat těkavé organické sloučeniny do vakua nebo vzduchu. V podstatě se jedná o zdroj kontaminace.
Proto používáme dráty pokryté PTFE (Teflonem). Jsou chemicky inertní – nedegradují se a neuvolňují žádné plyny, dokonce i při vysokých teplotách.
Realita inženýrství
Tyto lampy s vysokou intenzitou svitu jsou skvělé – rychle generují teplo, což je právě to, co potřebujeme při zpracování polovodičových destiček. Ale tato síla má své náklady. Musíte pečlivě nastavit celý systém. Montážní prvky musí být odolné vůči opotřebení a proudění vzduchu musí být perfektní. Pokud vzduch nekoluje dostatečně, i Teflon má své limity. Nechcete přece, aby izolace selhala po šesti měsících kvůli problémům s chlazením.
Navrhli jsme tyto jednotky tak, aby se daly snadno nahradit vašimi stávajícími zařízeními. Stačí je připojit, nastavit regulátor PID a nechat krystalové lampy odvést veškerou práci. Vaše výrobní linka zůstane čistá a nemusíte se už starat o kontaminaci částicemi.