Výbuchy světel – problém, který může zničit výslednou kvalitu waférů
V linkách s vysokou kapacitou je výbuch světla opravdový noční můra. Nejde jen o to, že stroj na chvíli přestane fungovat. Jde také o ten nepořádek, který vznikne.
Když praskne křemíková trubice, dochází ke vzniku střepů skla a halogenového plynu, které dopadají přímo na wafery. Jedno takové „prasknutí“ znamená, že celá série waférů je zničena. Poté musíte celou komoru vyčistit – což je práce, kterou nikdo nechce dělat. Naše digitální ovladače a konfigurace světel jsou navrženy právě proto, aby se to nikdy nestalo.
Udržení stabilní teploty
Většina světel praskne kvůli tepelnému šoku nebo nadměrnému zahřátí. Pokud do světla přivedete plnou napěťovou hodnotu, křemík se rychle rozšíří a praskne. Je to v podstatě jako když nalijeme vroucí vodu do studené sklenice.
S tím si poradíme pomocí digitálního ovladače, který plynule reguluje napětí během nástupu a poklesu napětí. Je to tak mírnější přístup.
Používáme také křemíkové trubice vysoké čistoty – ty totiž dokážou ustát mnohem větší teplotní zatížení než ty levné. Ale pozor: pokud přivedete velké množství energie do krátké trubice, vznikne velký tlak na její uzávěry. Musíte udržovat konzistentní průtok vzduchu. Pokud se jedna část trubice chladí rychleji než ostatní, vznikne bod napětí. A právě tam obvykle dojde k prasknutí.
Zabránění kontaminaci
Pokud trubice přesto selže – protože nehody se stávají – nechcete spoléhat na štěstí.
Používáme fyzické izolace a speciální obaly, abychom světlo izolovali. Pokud se něco rozbije, úlomky zůstanou na místě – nedostanou se na wafery.
Dalším problémem je elektrická část. Používáme odolné konektory, abychom zabránili vzniku oblouků. Oblouky jsou „tichými vrahy“ – vytvářejí drobné mikročástice, které se dostanou přímo do výrobní zóny.
Díky pevnějším spojům a přesnému řízení pomocí PID smyčky zůstává teplota stálá. Světlo nemusí hledat správnou teplotu, což udržuje vlákno v pořádku a zabránilo prasknutí ještě předtím, než k němu dojde.