في الغرفة ذات البيئة النظيفة، يتم إخراج الرقاقة من مرحلة الشطف وإدخالها في مرحلة التجفيف. أي نقطة ساخنة أو اختلاف في درجة الحرارة قد يؤدي إلى تلف أنماط المادة الحساسة للضوء. لذلك، قمنا بتصميم جهاز تسخين خاص لرقاقات MEMS لمنع حدوث ذلك، لأنه في هذا المجال لا يمكن التسامح مع أي استثناءات.
ما هو مهم في التصميم نستخدم أجهزة إصدار الأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مع استخدام مصادر حرارية من نوع الكوارتز-الهالوجين. هذا يوفر حرارة سريعة وموجهة، مع تأخير حراري منخفض للغاية. يتم الحفاظ على توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة على الرقاقة، بحيث يكون الفرق بين درجات الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، ويظل مستوى الدقة في تحديد درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.5 درجة مئوية، بحيث يتم تنفيذ عملية التجفيف بدقة تامة. يتم تصميم الجهاز بحيث يتناسب مع البيئات النظيفة، حيث يتم استخدام مواد مقاومة للتآكل في هيكل الجهاز، بالإضافة إلى تصميم مسارات تدفق الهواء بحيث يقلل من تساقط الجسيمات، وبالتالي يمكن استخدام الجهاز في بيئات من الفئة 1 إلى 100. يحافظ الجهاز على استقرار الطاقة المخرجة على مدار الساعة، وتُظهر البيانات الميدانية أن الجهاز يمكن أن يعمل لأكثر من 5,000 ساعة دون الحاجة إلى صيانة، وبالتالي لا يوجد أي توقف غير مخطط له.
لماذا يكون الجهاز مفيدًا في تقنية MEMS في تقنية MEMS، التجفيف ليس مجرد إزالة الماء من الرقاقة، بل هو أيضًا حماية سلامة الخصائص الفيزيائية للرقاقة قبل وبعد عملية التطوير. يساعد هذا الجهاز في التجفيف بسرعة دون أن يؤدي ذلك إلى تلف الرقاقة، وبالتالي يقل احتمال الحاجة إلى إعادة المعالجة. كما يساعد التحكم الدقيق في درجة الحرارة في تقليل الاختلافات الحرارية، مما يحمي الأغشية الرقيقة ويساعد في الحفاظ على دقة الأبعاد. النتيجة هي تقليل عدد العيوب، وزيادة معدل الإنتاج في المرة الأولى، بالإضافة إلى استمرارية أوقات التشغيل. وبما أن مصادر الحرارة فعالة، فإن ذلك يقلل من هدر الطاقة داخل الغرفة.
ما يجب التخطيط له أثناء التركيب يجب مطابقة المواصفات الميكانيكية للجهاز مع مواصفات المبردات المستخدمة. نحن نوفر الرسومات الهندسية ومواصفات الوصلات، لكن يقع على عاتقك التأكد من معدل تدفق المبرد ودرجة حرارته الداخلية، وإلا فقد تواجه مشاكل في التسخين الزائد. يعمل الجهاز بشكل أفضل عندما تكون درجة الضغط داخل الغرفة وتركيبة الغازات ضمن النطاق المحدد. خلال عملية التركيب، يجب إجراء اختبار سريع للتحكم في درجة الحرارة، للتأكد من توزيع متساوٍ لدرجة الحرارة على الرقاقة.