Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành một phòng sạch loại Class 100, chắc hẳn bạn đã biết rõ những rủi ro tiềm ẩn: chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc một mảnh vật liệu lạ lọt vào phòng, các tấm wafer bán dẫn của bạn sẽ bị hư hại. Điều này thật khó chịu. Hầu hết các linh kiện gia nhiệt đều gây ra vấn đề, vì chúng có thể giải phóng khí hoặc tạo ra các hạt bụi ngay khi chúng ta cần chúng hoạt động ổn định.
Chúng tôi đã tìm ra cách giải quyết tốt hơn. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao, kết hợp với dây dẫn được cách điện bằng Teflon. Cách này đơn giản nhưng hiệu quả.
Ưu điểm của thạch anh có độ tinh khiết cao
Chúng tôi chọn thạch anh tổng hợp để làm vỏ bao bọc bóng đèn. Tại sao? Bởi vì loại thạch anh này không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Thủy tinh thông thường thì sẽ giải phóng các hạt vi mô khi được làm nóng và làm lạnh. Nhưng thạch anh thì vẫn ổn định. Nó cho phép bức xạ hồng ngoại đi qua mà không bị nóng quá mức. Không có hiện tượng bong tróc hay giải phóng khí. Chỉ có nhiệt độ tốt mà thôi.
Đừng quên dây dẫn
Vấn đề là: bóng đèn chỉ là một phần của hệ thống. Hầu hết mọi người đều bỏ qua yếu tố dây dẫn, nhưng đó chính là nguyên nhân khiến phòng sạch bị ô nhiễm. Nếu bạn sử dụng dây dẫn PVC thông thường trong các thiết bị bán dẫn, nhiệt độ cao sẽ làm hỏng lớp cách điện của dây dẫn. Điều này sẽ khiến các chất hữu cơ dễ bay hơi được giải phóng vào môi trường khí quyển. Đó chính là nguyên nhân gây ô nhiễm.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng dây dẫn được phủ lớp PTFE (Teflon). Loại dây dẫn này không bị biến đổi hóa học, không bị hỏng, và cũng không giải phóng khí, ngay cả khi nhiệt độ tăng cao.
Thực tế về kỹ thuật
Những bóng đèn có công suất cao này rất tốt, vì chúng có thể tạo ra nhiệt độ cao nhanh chóng – điều mà quá trình xử lý wafer cần. Nhưng điều này cũng mang lại một số rủi ro. Bạn cần phải lựa chọn các bộ phận kết nối một cách cẩn thận. Các bộ phận này không được phép bong tróc, và dòng khí làm mát cũng cần được điều chỉnh một cách chính xác. Nếu dòng khí không đủ mạnh, ngay cả Teflon cũng có thể bị hỏng. Bạn không muốn lớp cách điện bị hỏng sau 6 tháng sử dụng do lỗi trong quá trình làm mát.
Chúng tôi thiết kế các thiết bị này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị hiện có của bạn. Bạn chỉ cần kết nối chúng vào hệ thống, thiết lập bộ điều khiển PID, và để các bóng đèn thực hiện công việc của chúng. Như vậy, dây chuyền sản xuất của bạn sẽ luôn sạch sẽ, và bạn không cần phải lo lắng về vấn đề ô nhiễm bởi các hạt bụi nữa.