Trên bề mặt phẳng của tấm wafer, lớp chất cảm quang sau khi được rửa sẽ chuyển sang giai đoạn sấy khô. Chỉ cần có một điểm nóng hoặc sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ thôi, thì hình dạng của lớp chất cảm quang cũng có thể bị biến dạng. Chúng tôi đã thiết kế bộ sấy dành cho các tấm wafer MEMS nhằm ngăn chặn tình trạng này xảy ra – bởi trong ngành này, không ai được phép làm ngoại lệ.
Những yếu tố quan trọng trong quá trình sấy Chúng tôi sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số cao từ các bộ phát quang dựa trên nguyên lý quartz-halogen. Điều này giúp tạo ra nguồn nhiệt nhanh chóng và có hướng rõ ràng, đồng thời giảm thiểu hiện tượng chậm trễ về mặt nhiệt độ. Độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C; độ chính xác của nhiệt độ được kiểm soát ở mức ±0,5°C. Nhờ vậy, mỗi lần sấy đều diễn ra một cách chính xác theo quy trình đã định. Thiết kế của bộ sấy cũng được tính toán kỹ lưỡng để phù hợp với môi trường sạch: các vật liệu được sử dụng trên thân bộ sấy có khả năng chống ô nhiễm, và đường dẫn khí được thiết kế sao cho giảm thiểu việc lan truyền các hạt bụi. Nhờ đó, bộ sấy có thể hoạt động tốt trong môi trường loại 1–100. Bộ sấy duy trì được nhiệt độ ổn định suốt cả ngày đêm; theo dữ liệu thực tế, bộ sấy có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ mà không gặp sự cố nào.
Tại sao bộ sấy này lại phù hợp cho công nghệ MEMS Trong công nghệ MEMS, việc sấy khô không chỉ nhằm loại bỏ nước ra khỏi bề mặt wafer, mà còn nhằm bảo vệ cấu trúc của các chi tiết trên wafer trước và sau khi xử lý. Bộ sấy này giúp sấy khô nhanh chóng mà không gây ra sự biến dạng của lớp chất cảm quang, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm. Việc kiểm soát nhiệt độ chính xác cũng giúp giảm thiểu sự biến đổi về nhiệt độ, từ đó bảo vệ các lớp màng mỏng và đảm bảo độ chính xác về kích thước của các chi tiết trên wafer. Kết quả là số lượng lỗi giảm đi, tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn tăng lên, và thời gian xử lý cũng ổn định. Ngoài ra, do các bộ phát quang có hiệu suất cao và nhiệt độ được kiểm soát chính xác, nên lượng nhiệt lãng phí trong buồng sấy cũng giảm đi, từ đó tiết kiệm được năng lượng.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Bạn cần đảm bảo rằng kích thước và thông số kỹ thuật của bộ sấy phù hợp với yêu cầu của thiết bị. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kỹ thuật và thông số kết nối, nhưng bạn vẫn cần tự kiểm tra lưu lượng chất làm mát và nhiệt độ đầu vào – nếu không, thiết bị có thể bị quá nhiệt. Bộ sấy hoạt động tốt nhất khi áp suất trong buồng sấy và thành phần khí trong buồng sấy nằm trong giới hạn cho phép. Trong quá trình lắp đặt, hãy thực hiện thử nghiệm kiểm tra nhiệt độ trong một khoảng thời gian ngắn. Điều này giúp xác nhận độ đồng đều về nhiệt độ và đảm bảo rằng quy trình sấy diễn ra chính xác với từng loại wafer cụ thể.