Trên khu vực sản xuất, những tấm wafer có kích thước 12 inch được đặt ở đó, chờ được xử lý bằng phương pháp nung để loại bỏ lớp chất cản quang. Bạn biết rõ tầm quan trọng của việc này: chỉ cần nhiệt độ thay đổi 1°C thôi cũng đã ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Điều cần thiết là nguồn nhiệt phải được cung cấp một cách nhanh chóng, đồng thời không gây ra bất kỳ sự xáo trộn nào.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Các đèn IR bước sóng ngắn của chúng tôi giúp truyền nhiệt trực tiếp vào lớp chất cản quang và bề mặt wafer – không cần chờ đợi quá trình truyền nhiệt thông thường. Bước sóng phát xạ cao của đèn SWIR giúp lớp chất cản quang hấp thụ nhiệt hiệu quả, vì vậy bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn trong vòng chưa đầy 30 giây. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer nằm trong khoảng ±0,1°C, và độ lặp lại của quy trình cũng ở mức tốt, dưới ±0,2°C.
Môi trường làm việc trong phòng sạch loại 1–100 vẫn được duy trì ổn định. Cấu trúc vỏ bọc bằng thạch anh và các bộ phận phản xạ giúp ngăn chặn việc các hạt bụi xâm nhập vào quy trình sản xuất. Hiệu suất hoạt động của đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức giảm hiệu suất dưới 5%.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình in ấn chip
Trong quy trình in ấn chip, việc nung ở nhiệt độ thấp giúp loại bỏ dung môi; còn việc nung ở nhiệt độ cao giúp cố định hình ảng được in lên wafer. Với đèn SWIR, dung môi có thể được loại bỏ một cách hiệu quả mà không làm tổn hại đến lớp chất cản quang. Phản ứng của đèn diễn ra rất nhanh, vì vậy thời gian chờ giữa các lần sản xuất bị rút ngắn, từ đó giúp giảm thời gian hoàn thành mỗi chu kỳ sản xuất – mà vẫn giữ được độ chính xác của kích thước chip.
Việc cung cấp nhiệt chỉ diễn ra khi cần thiết, chứ không phải liên tục, vì vậy mức tiêu thụ năng lượng giảm đi. Kết quả là số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm, chất lượng sản phẩm ổn định, và bạn có thể dễ dàng lập kế hoạch về mặt năng lượng.
Những điều cần lưu ý
Việc lắp đặt đèn phụ thuộc vào việc điều chỉnh độ chính xác của ánh sáng và khoảng cách giữa các bộ phận. Nếu không làm đúng, bạn sẽ gặp phải tình trạng nhiệt độ cao ở một số vị trí nhất định. Do cường độ ánh sáng của đèn SWIR khá cao, nên việc lắp đặt các bộ phận bảo vệ là điều cực kỳ quan trọng để đảm bảo an toàn cho người vận hành.
Các đèn này có thể được lắp đặt vào các thiết bị sản xuất chip tiêu chuẩn, nhưng việc tích hợp chúng vào hệ thống đòi hỏi phải xem xét kỹ lưỡng các yếu tố như hệ thống thông gió, hệ thống làm mát và độ ổn định của điện áp. Nếu làm tốt những điều này, độ đồng đều của nhiệt độ vẫn sẽ được duy trì trong giới hạn cho phép.