Wafer’ın sıcaklığını tahmin etmeyi bırakın
Eğer akıllı bir üretim tesisleri kuruyorsanız, eski temas tipi termokuplları kullanmayı bırakmalısınız. Artık bu yöntemler yeterli değil. Wafer işlemleri için yüksek hızlı kızılötesi sensörler kullanıyoruz. Bu sayede, substrata dokunmadan gerçek zamanlı sıcaklık verilerini elde edebiliyoruz.
Eğer dijital ikizinizin gerçek dünyadaki durumu tam olarak yansıtmasını istiyorsanız, sürekli olarak yüksek frekanslı verilere ihtiyacınız var. Temassız sensörler, bunu sağlamanın tek yoludur.
Kızılötesi teknolojisinin detayları
Her şey Planck Yasası’na dayanıyor; yani kızılötesi radyasyonunu sıcaklık ölçümüne dönüştürmek gerekiyor. Ancak burada dikkat edilmesi gereken nokta, silikon veya GaAs için doğru emisivite ayarlarının yapılmasıdır. Eğer bunlar doğru yapılmazsa, elde edilen veriler anlamsız olur.
Daha doğru sonuçlar elde etmek için dar bantlı pirometri kullanıyoruz. Bu yöntem, ısıtma elemanlarından kaynaklanan gürültüyü filtreleyerek sensörün sadece wafer üzerine odaklanmasını sağlar.
Verilerin gerçekten faydalı olması
Bunlar sadece rafta duran basit cihazlar değil. Bu sensörler, ham dijital sinyalleri doğrudan PLC veya SCADA sistemlerinize iletecek şekilde tasarlanmıştır.
İşte burada asıl önemli olan nokta geliyor: Kapalı döngü PID kontrolü sayesinde, bir bölgede aşırı ısınma meydana geldiğinde gücü milisaniyeler içinde ayarlayabilirsiniz. Çok hızlı bir süreç bu.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta daha var: Bu kadar çok veri, zayıf bir ağı yavaşlatabilir. Yüksek bant genişlikli bir fieldbus kullanmanız gerekiyor; aksi takdirde gecikmelerle karşılaşacaksınız.
Avantajlar ve dezavantajlar
Avantajları oldukça büyük. Artık prob kontaminasyonu yok, waferlerin kırılması da olmuyor. Verimliliğiniz artacak.
Ancak dikkat edilmesi gereken birkaç nokta var. Kızılötesi sensörler için net bir görüş açısı gerekiyor. Eğer cihazın şekli tuhaf veya iç kısmında koruyucu malzemeler varsa, kör noktalar oluşur. Tasarım aşamasında sensörlerin yerleştirileceği yeri dikkatli seçmelisiniz.
Ayrıca cam konusu da var. Eğer görsel izleme alanı işlem sonucu bulanıklaşırsa, ölçümler de yanlış olur. Optiklerin net kalması için temizleme işlemleri yapılmalı veya gaz kullanılmalıdır.