การรักษาความสะอาดในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 ให้สะอาดจริงๆ
หากคุณกำลังดูแลห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 อยู่ คุณคงรู้ดีว่ามันเป็นเรื่องที่น่ากังวลมาก เพียงแค่มีฝุ่นเพียงเม็ดเล็กๆ หรือเศษวัสดุเล็กๆ เข้ามา แผ่นซิลิคอนของคุณก็จะเสียหายไปเลย มันน่าหงุดหงิดมาก อุปกรณ์ทำความร้อนส่วนใหญ่ก็เป็นอุปสรรค เพราะมันจะปล่อยก๊าซหรือเศษวัสดุออกมาในช่วงเวลาที่ควรจะมีความเสถียร
เราได้ค้นพบวิธีที่ดีกว่านั้น เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์คุณภาพสูง และใช้สายไฟที่มีฉนวนกันความร้อนจาก Teflon วิธีนี้ง่าย แต่ได้ผลดีจริงๆ
ข้อดีของควอตซ์คุณภาพสูง
เราเลือกใช้ควอตซ์สังเคราะห์แทนหลอดไฟ เพราะมันไม่เกิดปัญหาเมื่ออยู่ในอุณหภูมิสูง แก้วธรรมดามักจะปล่อยเศษวัสดุขนาดเล็กออกมาเมื่อร้อนหรือเย็นลง แต่ควอตซ์นั้นยังคงอยู่ที่เดิม ทำให้รังสีอินฟราเรดสามารถผ่านเข้าไปถึงวัสดุได้โดยไม่ทำให้ควอตซ์ร้อนเกินไป ไม่มีเศษวัสดุหลุดออกมา มีเพียงความร้อนที่สะอาดเท่านั้น
อย่าลืมเรื่องสายไฟด้วย
อุปกรณ์ไฟฟ้าก็มีความสำคัญเช่นกัน หลายคนมักมองข้ามเรื่องสายไฟ แต่นั่นแหละคือสาเหตุที่ทำให้ห้องปลอดภัยไม่ได้ หากคุณใช้สายไฟ PVC ธรรมดา ความร้อนจะทำให้ฉนวนกันความร้อนเสื่อมสภาพ และก่อให้เกิดก๊าซ VOCs ซึ่งเป็นสารที่ก่อให้เกิดมลพิษได้
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้สายไฟที่มีฉนวนกันความร้อนจาก PTFE (Teflon) มันมีความเสถียรทางเคมี ไม่เสื่อมสภาพ และไม่มีก๊าซรั่วออกมา แม้ในสภาพอุณหภูมิสูงก็ตาม
ความเป็นจริงของการออกแบบ
หลอดไฟความเข้มสูงเหล่านี้มีข้อดีตรงที่สามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว ซึ่งเป็นสิ่งที่จำเป็นสำหรับการประมวลผลแผ่นซิลิคอน แต่ก็มีข้อเสียเช่นกัน คุณต้องออกแบบระบบให้ดี โครงสร้างที่ใช้ยึดหลอดไฟต้องไม่ทำให้เกิดเศษวัสดุหลุดออกมา และระบบระบายอากาศก็ต้องมีประสิทธิภาพดี หากระบบระบายอากาศไม่ดีพอ แม้แต่ Teflon ก็อาจเสื่อมสภาพได้เช่นกัน คุณไม่อยากให้ฉนวนกันความร้อนเสื่อมสภาพหลังจากใช้งานไปหกเดือนเพราะปัญหาด้านระบบระบายอากาศหรอก
เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้ให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้ง่าย คุณเพียงแค่เชื่อมต่อสายไฟเข้าไป ตั้งค่าควบคุม PID แล้วปล่อยให้หลอดไฟทำหน้าที่ของมัน อย่างนี้แล้วสายการผลิตของคุณก็จะยังคงสะอาด และคุณก็ไม่ต้องกังวลเรื่องมลพิษจากเศษวัสดุอีกต่อไป