Op de productielijn ligt een wafer van 12 inch klaar om te worden verwerkt met behulp van fotoresist. De belangrijkheid van deze stap is duidelijk: zelfs een verschil van 1°C op het oppervlak kan er toe leiden dat de nauwkeurigheid en de kwaliteit van het eindproduct onder druk komen te staan. Wat nodig is, is hitte die snel wordt toegepast, zodat er geen ongewenste effecten optreden.
Wat technisch gezien belangrijk is Onze kortgolf-infraroodlampen zorgen ervoor dat de hitte rechtstreeks in de fotoresist en het substraat terechtkomt – er hoeft niet te worden gewacht op convectieprocessen. De piekemissie in het kortgolfgebied zorgt voor sterke absorptie door organische films en silicium. Hierdoor kan de gewenste temperatuur in minder dan 30 seconden bereikt worden. Over het hele oppervlak van de wafer blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C, en de herhaalbaarheid is beter dan ±0,2°C tussen verschillende verwerkingscycli.
De zuiverheid van de productieruimte blijft op peil, dankzij de kwartsomhulzing en de reflectoren. Dit zorgt er ook voor dat er geen deeltjes in het proces terechtkomen. De uitgangstemperatuur blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een daling van minder dan 5%.
Waarom dit werkt in de litografie Bij litografie zorgt de zachte verhitting voor het verwijderen van oplosmiddelen; de harde verhitting zorgt er juist voor dat het beeld vast komt te zitten in het materiaal. Met SWIR-lampen kan het oplosmiddel gemakkelijk worden weggenomen, zonder dat het materiaal beschadigt raakt. Dit verminderd de kans op storingen en ongewenste effecten. De reactietijd is snel, waardoor de tijd die nodig is tussen de verschillende verwerkingscycli wordt verkort. Hierdoor kan de controle over de essentiële dimensies behouden blijven.
De verhitting vindt alleen plaats wanneer dit nodig is, dus er wordt minder energie verbruikt. Het resultaat is minder herwerkingsproces, een stabiele kwaliteit van het product en een beter beheer van de energieverbruik.
Wat je moet letten op Bij de installatie is het belangrijk om rekening te houden met de optische alignering en de ruimte tussen de componenten. Als dit niet goed wordt gedaan, kunnen er hete plekken ontstaan. De intensiteit van de SWIR-lampen is hoog, dus veiligheidsmaatregelen zijn essentieel voor de veiligheid van de gebruiker.
De lampen passen in de standaardinterfaces van halfgeleiderapparatuur. Echter, bij de integratie moet rekening worden gehouden met de afvoer van gassen, koeling en spanningss stabiliteit. Als deze aspecten goed worden geregeld, blijft de temperatuurniveau binnen de vereiste grenzen.