Dalam proses litografi, proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan faktor penting yang mempengaruhi kualiti hasil pengeluaran. Jika suhu pembakaran tidak konsisten, atau proses pembakaran tidak berlaku secara seragam, ia akan menyebabkan kesilapan dimensi pada wafer tersebut, serta wafer tersebut akan terpaksa dibuang. Apabila lampu dalam oven tidak mampu mengekalkan suhu yang konsisten di seluruh kawasan pembakaran, maka proses pengeluaran akan terganggu.
Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan lampu jenis halogen berpanjang gelombang pendek dan unsur kuarsa yang dioptimasikan untuk digunakan dalam proses litografi. Ini membolehkan tindak balas haba yang cepat serta output cahaya yang stabil. Sistem ini direka agar suhu di kawasan pembakaran kekal seragam pada tahap ±0.1°C, sekaligus memastikan dimensi wafer tetap tepat dari satu sesi pengeluaran ke sesi seterusnya.
Modul lampu ini dibina untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan dan komponen yang dapat menghalang penjanaan zarah-zarah halus. Unit ini telah beroperasi selama lebih dari 5,000 jam tanpa penurunan output melebihi 5%, sekaligus mengurangkan masa henti yang tidak dijangka.
Mengapa ia penting dalam proses pengeluaran
Lampu ini membolehkan kawalan suhu yang tepat, yang sangat penting untuk proses litografi moden. Proses pembakaran menjadi lebih konsisten, pembersihan bahan kimia juga lebih efektif, dan proses pembakaran yang dilakukan dengan baik akan memberikan hasil yang stabil. Dengan ini, bilangan pembetulan yang diperlukan akan berkurangan, kualiti wafer menjadi lebih stabil, dan penggunaan tenaga juga berkurangan setiap kali proses pembakaran dilakukan.
Dalam lini pengemasan yang menggunakan proses pada tahap wafer, ketepatan ini memastikan proses pengeringan filem berlangsung dengan konsisten, tanpa menyebabkan wafer menjadi rosak.
Nota sebelum membuat speifikasi
Pemasangan lampu ini bergantung pada geometri ruang oven dan reflektor yang digunakan. Output lampu akan mencapai tahap yang ditetapkan hanya apabila lampu dipasang bersama sarung kuarsa dan komponen pemasangan yang sesuai.
Jangkakan akan ada masa penstabilan haba yang singkat setelah menukar prosedur pembakaran. Rancang jadual kalibrasi untuk memastikan suhu tetap konsisten pada tahap ±0.1°C. Sebelum membeli, pastikan kawalan oven yang digunakan sesuai dengan lampu tersebut.