Di bilik pengeluaran, perubahan suhu yang berlaku tidak akan ditunjukkan melalui lampu amaran. Sebaliknya, ia akan menyebabkan penurunan kualiti produk serta masalah dalam kawalan ketepatan CD. Lampu Mattson RTP direka untuk memastikan proses pengeringan dan pemanasan bahan fotoresist berlaku dalam julat suhu yang sesuai.
Apa yang penting di sebaliknya
Kita menggunakan lampu inframerah gelombang pendek yang dilindungi oleh lapisan kuarsa. Lampu ini disusun agar dapat mencapai suhu yang stabil dengan cepat. Ini membolehkan suhu pada permukaan wafer kekal seragam pada tahap ±0.1°C sepanjang proses pengeluaran. Selain itu, profil pemanasan yang digunakan juga konsisten setiap kali proses diulang. Lampu-lampu ini mampu mengekalkan prestasi yang stabil selama ribuan jam – kami mempunyai unit yang telah beroperasi lebih dari 5,000 jam dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Oleh kerana lampu ini tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya semasa digunakan, jumlah zarah di ruang bersih tetap berada dalam lingkungan yang diharapkan, iaitu kelas 1–100.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Dalam proses litografi, diperlukan kaedah pemanasan yang efektif untuk menghilangkan pelarut, serta kaedah pemanasan yang dapat menstabilkan bahan fotoresist tanpa menyebabkan perubahan ketara pada nilai CD. Lampu-lampu ini memastikan konsistensi proses pengeluaran, serta membantu proses pengeringan wafer secara efektif. Hasilnya, jumlah bahan buangan berkurangan, kerja pembaikan menjadi lebih sedikit, dan penggunaan tenaga juga berkurangan berkat sistem penghantaran radiasi yang efisien serta proses penyesuaian suhu yang cepat.
Butiran penting semasa pemasangan
Pemasangan lampu ini agak mudah, tetapi orientasi lampu dan penyesuaian reflektor perlu diperiksa dengan teliti semasa proses pertukaran lampu. Kesalahan penyesuaian boleh menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Pastikan sambungan pangkal lampu, voltan, dan sistem penyejukan sesuai dengan keperluan bilik pengeluaran. Lakukan pemeriksaan visual secara berkala. Dengan cara ini, masalah yang mungkin timbul dapat dicegah lebih awal.