クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つ方法
もしあなたがクラス100のクリーンルームを運営しているなら、その苦労はご存知でしょう。ほんのわずかなほこりや異物があっただけで、半導体ウェハーは台無しになってしまいます。本当に厄介です。ほとんどの加熱素子は、安定して動作するべき時にガスを放出したり、粒子を飛ばしたりするため、問題となります。
私たちはより良い方法を見つけました。高純度の石英を使った赤外線ランプを使用し、それにテフロンで絶縁された配線を組み合わせています。シンプルですが、効果的です。
高純度石英の利点
ランプの外装としては、合成融成シリカを使用しています。なぜでしょうか？それは、高温になっても変質しないからです。通常のガラスは、加熱や冷却の過程で微小な粒子を放出しますが、この石英はそういうことがありません。赤外線をそのまま基板に届けることができ、自体は過度に熱くなりません。剥がれや飛散もありません。純粋で直接的な熱だけが得られます。
配線を忘れてはいけない
実は、ランプだけでは不十分です。多くの人々は配線を見過ごしますが、実際にクリーンルームが機能しなくなるのは、配線の問題が原因です。半導体装置に通常のPVC配線を使用すると、熱によって絶縁層が破壊され、揮発性有機化合物が真空や空気中に放出されます。これはまさに汚染源です。
だからこそ、私たちはPTFE（テフロン）コーティングされた配線を使用しています。化学的に不活性で、劣化せず、たとえ高温になってもガスが漏れ出ることはありません。
工学的な現実
これらの高強度ランプは、急速に熱を発生させるため、ウェハー加工には最適です。しかし、その力には代償があります。設置方法には注意が必要です。取り付けブラケットは剥がれないものでなければならず、冷却風の流れも正確でなければなりません。空気の流れが不十分だと、テフロンであっても限界があります。6ヶ月後に冷却不良によって絶縁層が壊れるのは避けたいものです。
私たちは、既存の装置に簡単に取り付けられるように、これらの装置を設計しました。配線を接続し、PIDコントローラを調整すれば、石英ランプがその役割を果たします。そうすれば、生産ラインは常に清潔であり、粒子による汚染の心配も不要になります。