Hentikan kebiasaan menebak suhu wafer secara acak
Jika Anda ingin membangun pabrik manufaktur yang canggih, Anda perlu meninggalkan penggunaan termokopel konvensional. Alat tersebut sudah tidak efektif lagi untuk mengukur suhu wafer. Untuk alat pengukur suhu wafer, kita menggunakan sensor inframerah berkecepatan tinggi. Dengan cara ini, kita dapat mendapatkan data suhu secara real-time, tanpa perlu menyentuh permukaan wafer sama sekali.
Jika Anda ingin agar “digital twin” Anda sesuai dengan kondisi di dunia nyata, Anda membutuhkan aliran data berfrekuensi tinggi secara terus-menerus. Penggunaan sensor tanpa kontak merupakan satu-satunya cara untuk mendapatkan data tersebut.
Prinsip kerja sensor inframerah
Semuanya berkaitan dengan Hukum Planck—yaitu mengubah radiasi inframerah menjadi nilai suhu. Namun, ada hal penting yang perlu diperhatikan: Anda perlu menyetel nilai emisivitasnya dengan benar untuk silikon atau GaAs. Jika pengaturannya salah, data yang dihasilkan akan tidak akurat.
Untuk mendapatkan hasil yang akurat, kita menggunakan teknik pirometri berbandwidth sempit. Teknik ini membantu menghilangkan gangguan dari elemen pemanas, sehingga sensor dapat fokus pada wafer, bukan dinding tungku.
Mengubah data menjadi informasi yang berguna
Sensor-sensor ini bukan sekadar alat pengukur biasa. Kami merancangnya sedemikian rupa sehingga dapat mengirimkan sinyal digital langsung ke sistem PLC atau SCADA. Dengan demikian, kita dapat melakukan kontrol PID secara efektif. Jika ada bagian wafer yang menjadi panas, kita dapat segera menyesuaikan daya pemanasan dalam hitungan milidetik. Sangat cepat.
Namun, perlu diingat bahwa volume data yang besar bisa membebani jaringan yang lemah. Pastikan Anda memiliki bus fieldbus berbandwidth tinggi, agar tidak terjadi keterlambatan dalam pengiriman data.
Kekurangan dan kelebihan
Keuntungannya sangat besar: tidak ada lagi risiko kontaminasi oleh probe, serta tidak ada lagi risiko kerusakan wafer secara tidak sengaja. Produktivitas produksi pun akan meningkat.
Namun, ada beberapa hal yang perlu diperhatikan. Sensor inframerah membutuhkan garis pandang yang jelas. Jika alatnya memiliki bentuk yang aneh atau adanya lapisan pelindung di bagian dalamnya, maka akan ada titik buta yang membuat pengukuran menjadi tidak akurat. Anda perlu memperhatikan posisi sensor saat proses desain.
Selain itu, jika kaca pembesar menjadi keruh akibat produk sampingan dari proses produksi, maka hasil pengukuran akan menjadi tidak akurat. Anda perlu menyediakan fitur pembersihan atau menggunakan gas untuk menjaga kualitas optik sensor tetap baik.